Elipsometry jsou dostupné buďto jako kompaktní jednoúčelové přístroje s omezeným rozsahem a nebo jako univerzální modulární systémy, které mohou měnit úhel měření, lze s nimi skenovat v širokém spektrálním rozsahu (od UV až do NIR či IR), mají celou škálu přídavných možností a hodí se hlavně pro oblast výzkumu nových materiálů nebo pro studium vlastností při nestandardních podmínkách (vakuum, nízké či vysoké teploty atd.).

Jako zdroj světla je v elipsometrech použitý buď laditelný monochromatický zdroj světla (světelný zdroj v kombinaci s monochromátorem) a na výstupu pak jednoduchý Si případně InGaAs detektor pro pokrytí oblasti od UV do NIR oblasti, nebo je na vstupu klasický širokopásmový světelný zdroj (výbojová lampa či halogenová žárovka) a na výstupu pak CCD či InGaAs lineární detektor, kam se zaznamená celé spektrum v jednom okamžiku. Tento princip je vhodný i pro insitu měření, tj. on-line měření v průběhu procesu.

Základní parametry při výběru elipsometru

• Jednoúčelový systém nebo modulární univerzální elipsometr
• Požadovaný spektrální rozsah a rozlišení (závisí na měřených materiálech a aplikacích)
• Je-li je potřeba měnit úhly
• Jaký je požadavek na rychlost a přesnost
• Jedná-li se o ex-situ, in-situ aplikaci či kombinaci

Rádi s výběrem vhodného typu pomůžeme, také můžeme nechat proměřit vzorky v německé aplikační laboratoři.