K používání a měření webu využíváme cookies. Používáním tohoto webu souhlasíte se způsobem, jakým s cookies nakládáme. Další informace

Excimerové lasery

Výrobce

Typické využití

Aktivní prostředí

Režim

Délka pulsu

Spektrální oblast

Excimerové lasery

Excimerové lasery jsou zvláštní skupinou pulzních plynových laserů vyzařujích na vlnových délkách v ultrafialové (UV) části spektra v závislosti na použitém plynu. Lasery se kromě vlnové délky liší energií v pulzu a tudíž i středním výkonem, který se pohybuje od W až po jednotky kW.

Výstupní vlnové délky jsou:

  • 157nm F2 Fluor
  • 193nm ArF Argon Fluor
  • 248nm KrF Krypton Fluor
  • 308nm XeCl Xenon chlór
  • 351nm XeF Xenon Fluor

Lasery generující záření v UV oblasti se používají pro povrchové úpravy, např. pro ablaci a značkování, vytvrzování, polovodičovou výrobu, výrobu vláknových prvků (např. Braggovy mřížky).

ExciStar XS

ExciStar XS

Kompaktní excimerový laser s opakovací frekvencí až 500 Hz, s výstupem na 157, 193, 248 a nebo 351 nm

IndyStar

IndyStar

Kompaktní excimerový laser s opakovací frekvencí až 2kHz, energií až 12mJ a výstupem na 193 nebo 248 nm

COMPex

COMPex

Kompaktní excimerový laser s energií v pulzu 750 mJ a opakovací frekvencí až 100 Hz