K používání a měření webu využíváme cookies. Používáním tohoto webu souhlasíte se způsobem, jakým s cookies nakládáme. Další informace

Optické litografy

Výrobce

Typické využití

Optické litografy

Optické litografy řady MicroWriter ML®3 umožňují přímý zápis do fotorezistu vysokou rychlostí s až sub-mikronovým rozlišením. Uplatnění naleznou mimo jiné v oblastech mikrofluidiky, mikroelektroniky, spintroniky, holografie a difraktivní optiky.

Rychlý bezmaskový zápis, jednoduché ovládání a příznivá cena jsou vhodnou kombinací pro R&D aplikace i tvorbu prototypů. Uživatele potěší možnost nadstandardních doplňků, jako je například integrovaný bezkontaktní profilometr nebo nástroj pro vizualizaci zapisované struktury na živý obraz vzorku.

  ML3 Baby ML3 Baby Plus ML3 Mesa ML3
Zápis ve stupních šedi ano ano ano ano
Rozlišení 5 µm 1 & 5 µm 0.6, 1 & 5 µm 0.6, 1, 2 & 5 µm
Integrovaný optický profiloměr ne ano ano ano
Teplotní stabilizace ne ne ne ano
MicroWriter ML3

MicroWriter ML3

Optický litograf s přímým vysokorychlostním zápisem a vysokým rozlišením