K používání a měření webu využíváme cookies. Používáním tohoto webu souhlasíte se způsobem, jakým s cookies nakládáme. Další informace

In situ elipsometr iSE

Spektroskopický elipsometr iSE od J.A. Woollam je určený speciálně pro real-time in-situ charakterizaci vrstev. Využívá se například pro charakterizaci kinetiky růstu tenkých vrstev ve vakuových komorách. Umožňuje mimo jiné zjištění optických vlastností materiálů jako komplexní index lomu, ale také určení tloušťky vrstev.

iSE s technologií Dual-Rotation měří optické vlastnosti tenkých vrstev během jejich růstu se sub-angströmovou citlivostí ve zlomku sekundy. Rychlou a přesnou detekci zajišťuje CCD detektor, který umožňuje měřit celé spektrum (v rozsahu 400-1000 nm) současně. Elipsometr iSE je vhodný pro měření široké škály materiálů, včetně kovů, polovodičů, oxidů, nitridů a dalších.

Hlavní přednosti

  • In-situ konfigurace s jednoduchou integrací na komoru
  • Kompaktní design
  • Příznivá cena
  • Rychlé, přesné, nedestruktivní měření celého spektra současně
  • Real-time monitoring kinetiky růstu vrstev
  • Vhodný pro širokou škálu materiálů

Máte zájem o In situ elipsometr iSE
Potřebujete radu?

KONTAKTUJTE NÁS

Rychlé, širokospektrální měření Dynamická spectroskopická ellipsometrická data vyobrazená pro 4 reprezentativní vlnové délky. Měření v každém okamžiku však probíhá na 190 vlnových délkách současně. Pár vynesených bodů v grafu ukazuje hodnoty před, během a po růstu vrstvy.

iSE využívá inovativní kombinaci Dual-Rotation™ s moderní CCD detekcí zajišťující kontinuální multi-zonální měření na stovkách vlnových délek během zlomku sekundy.

Přesnost

Měření založená na spektroskopické elipsometrii využívají změny polarizačního stavu světla, což pro měření v reálném čase implikuje významné výhody oproti intenzitním měřením:(vlevo) Růst vrstev ALD depozicí - vývoj tloušťky a delta parametru v čase pro 25 depozičních cyklů. (vpravo) Optické vlastnosti v měřeném rozsahu spektra a tloušťka deponované kovové vrstvy jako funkce času.

  • Přesnost (accuracy) naměřených dat není ovlivněna coatingem na průzorech
  • Sběr přesných dat i při dopadu jen části svazku (stačí částečný dopad světla na detektor)
  • Vysoká citlivost i na velmi tenké vrstvy díky fázovému měření

Máte zájem o In situ elipsometr iSE? Potřebujete radu?

Pomůže Vám specialita sekce Richard Schuster , případně využijte naše další kontakty.

KONTAKTNÍ FORMULÁŘ