K používání a měření webu využíváme cookies. Používáním tohoto webu souhlasíte se způsobem, jakým s cookies nakládáme. Další informace

Spektroskopický elipsometr M-2000

Spektroskopický elipsometr řady M-2000 od J.A. Woollam je modulární přístroj využívající přelomové technologie rotujícího kompenzátoru (RCE) pro vysokou přesnost a CCD detekce pro bezkonkurenční rychlost měření. Tato řada je hojně využívaná pro charakterizaci tenkých vrstev, jejich optických vlastností a tloušťky.

Přelomová technologie RCE (Rotating Compensator Ellipsometry) pro vysoce přesná měření v kombinaci s rychlým CCD detektorem umožňuje měření široké škále materiálů jako např. dielektrických, organických, polovodivých materiálů a kovů. Široký spektrální rozsah (až 193-1690nm) s proměnným úhlem měření umožňuje analýzu i vícevrstevných struktur. Modularita systému umožňuje mimo jiné využití elipsometru v režimu in situ i ex situ. Velmi rychlé měření dat - kompletní série dat z celého spektra během jednotek sekund.

Klíčové vlastnosti

  • Přelomová RCE technologie - rychlost a přesnost
  • Modulární design
  • Ex-situ i in-situ konfigurace
  • Flexibilní systémová integrace
  • Široký spektrální rozsah
  • Rychlé měření celého spektra naráz díky  CCD detektoru
  • Vysoce přesné měření na široké škále materiálů
  • Komplexní software s nejširší škálou analytických modelů na trhu
  • Jednoduchý alignment díky integrovanému kvadrantovému detektoru

Elipsometry řady M2000 jsou vybaveny plně automatizovaným systémem sběru dat a motorizovaným pracovním stolem, který umožňuje 2D mapování vzorku a vyhodnocovaní nejen kvality vrstvy ale i její jednotnosti.

Máte zájem o Spektroskopický elipsometr M-2000
Potřebujete radu?

KONTAKTUJTE NÁS

Rychlé a přesné měření, vzešlé z unikátní kombinace RCE technologie a CCD & multichannel detektoru, umožňuje i měření dynamických procesů (QCM-D). Modulární systém dává možnost měření flow cellmikroskopických měření díky fokusačním nástavcům. Díky možnosti in situ lze také elipsometr M2000 využít pro online kontrolu růstu vrstev například v PVD a ALD komorách.

Široká škála analytických modelů zakomponovaných v dodávaném pokročilém analytickém softwaru umožňuje vysokou variabilitu při zpracování rychle a přesně naměřených dat Δ a ψ (delta a psí).

Máte zájem o Spektroskopický elipsometr M-2000? Potřebujete radu?

Pomůže Vám specialita sekce Richard Schuster , případně využijte naše další kontakty.

KONTAKTNÍ FORMULÁŘ