K používání a měření webu využíváme cookies. Používáním tohoto webu souhlasíte se způsobem, jakým s cookies nakládáme. Další informace

Optické profiloměry

Optické profiloměry

Optické profiloměry Zygo na bázi white light interferometru jsou systémy pro vysoce přesné 3D bezkontaktní měření topografie povrchu materiálu a tenkých vrstev. Vertikální rozlišení (až sub-angströmové) je nezávislé na zorném poli.

  ZeGage NewView 8000 Nexview Nomad 
Konfigurace Stolní Pracovní stanice Pracovní stanice Přenosný
Opakovatelnost topografie povrchu 0.15 nm 0.12 nm 0.08 nm 0.12 nm
Opakovatelnost RMS 0.01 nm 0.01 nm 0.005 nm 0.01 nm
Maximální rychlost skenu v ose z 73 µm/s 96 µm/s 96 µm/s 15 µm/s
Zorné pole až 9 mm až 16 mm až 16 mm až 12 mm
Dodatečný optický zoom Ne Ano Ano Ne
ZeGage

ZeGage

Robustní 3D optický profiloměr s opakovatelností až 0,01 nm

NewView 8000

NewView 8000

3D optický profiloměr s opakovatelností až 0,01 nm

NexView

NexView

Špičkový 3D optický profiloměr s opakovatelností až 0,005 nm

Zygo objektivy

Zygo objektivy

Speciální objektivy Zygo pro optické profiloměry