Piezo Flexure osy
| VÝROBCE: |
|
PHYSIK INSTRUMENTE | KATEGORIE: |
Kompaktní nanopolohovací lineární a skenovací osy s piezo pohonem se subnanometrovou přesností, rozsahem pohybu v řádu stovek mikrometrů a vysoce přesným vedením s minimálními přeslechy. To vše jsou piezo osy z řady Flexure.
Pohyb Flexure piezo elementu je založen na pružné deformaci vedení z pevného materiálu pomocí piezo elementu. Díky tomu je eliminováno statické, valivé či posuvné tření.
Výsledkem je vysoká tuhost, nosnost a odolnost proti opotřebení. Flexure osy jsou bezúdržbové, mohou být vyrobeny z nemagnetických materiálů, nevyžadují maziva či jiná aditiva a tudíž je lze bez problému použít i ve vakuu.
Typické parametry
- Polohování v osách X, Y, Z a jejich kombinace
- Rozlišení 0,05 - 0,2 nm
- Rozsah pohybu 60 až 2000 um
- Nosnost až 10kg
- Možnost rychlých dynamických pohybů (kmitů)
- Varianty s enkodéry i bez nich (odměřování polohy)
- Verze pro vakuum
Máte zájem o Piezo Flexure osy
Potřebujete radu?
P-620.1 - P-62.1 PIHera Piezo lineární osa
- Rozsah pohybu od 50 po 1800 µm
- Rozlišení až 0,1nm
- Přesnost polohování 0,02%
- Přímé odměřování polohy pomocí kapacitních senzorů
- Variabilita v osách X, XY, Z, XYZ
P-611.1 Lineární piezo polohovací systémy
- Kompaktní půdorys 44x44 mm
- Rozsah polohování 120 µm
- Rozlišení až 0,2 nm
- Cenově dostupné
- Vysoká životnost piezo aktuátorů
- Variabilita v osách Z, XY, XZ a XYZ
Kompletní přehled lineárních piezo os Physik Instrumente
Související články
Precision motion and positioning workshop, ELI BeamlinesMáte zájem o Piezo Flexure osy? Potřebujete radu?
Pomůže Vám specialista sekce Blanka Schusterová, případně využijte naše další kontakty.