- Optixs
- Produkty
- Meranie vrstiev a povrchov
- Elipsometre
Elipsometre
Elipsometre
Elipsometrie se využívá pro měření vlastností tenkých vrstev a povrchů, pracuje s polarizovaným světlem, které se na zkoumaném povrchu odráží, čímž dochází ke změně jeho polarizace. Při elipsometrii se obecně měří hodnoty týkající se polarizovaného světla, tj. psi a delta a z naměřených dat se pak fitací na určitý model teprve získají materiálové charakteristiky jako tloušťka, index lomu, optická konstanta, ale i další údaje jako depolarizace, anisotropie, krystaličnost, rovnoměrnost či charakteristika přechodových rozhraní.
Námi dodávané systémy od firmy J. A. Woolam patří mezi světovou špičku.
Elipsometry jsou dostupné buďto jako kompaktní jednoúčelové přístroje s omezeným rozsahem a nebo jako univerzální modulární systémy, které mohou měnit úhel měření, lze s nimi skenovat v širokém spektrálním rozsahu (od UV až do NIR či IR), mají celou škálu přídavných možností a hodí se hlavně pro oblast výzkumu nových materiálů nebo pro studium vlastností při nestandardních podmínkách (vakuum, nízké či vysoké teploty atd.).
Jako zdroj světla je v elipsometrech použitý buď laditelný monochromatický zdroj světla (světelný zdroj v kombinaci s monochromátorem) a na výstupu pak jednoduchý Si případně InGaAs detektor pro pokrytí oblasti od UV do NIR oblasti, nebo je na vstupu klasický širokopásmový světelný zdroj (výbojová lampa či halogenová žárovka) a na výstupu pak CCD či InGaAs lineární detektor, kam se zaznamená celé spektrum v jednom okamžiku. Tento princip je vhodný i pro insitu měření, tj. on-line měření v průběhu procesu.
Základní parametry při výběru elipsometru
- Jednoúčelový systém nebo modulární univerzální elipsometr
- Požadovaný spektrální rozsah (závisí na měřených materiálech a aplikacích)
- Jestli je potřeba měnit úhly
- Jaký je požadavek na rychlost a přesnost
- Jedná-li se o ex-situ, in-situ aplikaci či kombinaci
Rádi s výběrem vhodného typu pomůžeme, také můžeme nechat proměřit vzorky v německé aplikační laboratoři.
Spektroskopický elipsometr alpha-SE
Špičkový spektroskopický elipsometr dedikovaný pro in-situ měření
See product site in CzechSpektroskopický elipsometr RC2
Řada modulárních vysoce přesných spektroskopických elipsometrů
See product site in CzechSpektroskopický elipsometr RC2
Řada modulárních vysoce přesných spektroskopických elipsometrů
See product site in CzechIn situ elipsometr iSE
Nejvyšší řada modulárních spektroskopických elipsometrů se dvěma rotujícími kompenzátory
See product site in CzechVASE Elipsometr
VASE je přesný a univerzální elipsometr od amerického výrobce J. A. Woollam pro výzkum všech typů materiálu.
See product site in CzechM2000
Modulární spektroskopické elipsometry s unikátní kombinací rychlosti a přesnosti měření
See product site in CzechMapovací elipsometr Theta-SE
Rychlý spektroskopický elipsometr pro přesné mapování a charakterizaci vrstev
See product site in Czech