Optické profilomery
Optické profiloměry Zygo na bázi white light interferometru jsou systémy pro vysoce přesné 3D bezkontaktní měření topografie povrchu materiálu a tenkých vrstev.
| ZeGage | ZeGage Plus | NewView 8000 | Nexview | Nomad | |
| Konfigurace | Stolní | Stolní | Pracovní stanice | Pracovní stanice | Přenosný |
| Technologie jádra | CSI | CSI | CSI | CSI a PSI | CSI |
| Opakovatelnost topografie povrchu (STR) | 3.5 nm | 0.15 nm | 0.12 nm | 0.08 nm | 0.12 nm |
| Opakovatelnost RMS | 0.1 nm | 0.01 nm | 0.01 nm | 0.005 nm | 0.01 nm |
| Maximální rychlost vertikálního skenování | ≤ 35 µm/s | ≤ 73 µm/s | ≤ 96 µm/s | ≤ 96 µm/s | ≤ 15 µm/s |
| Rozsah výšky skenovaného profilu | ≤ 25 mm | ≤ 25 mm | ≤ 25 mm | ≤ 25 mm | ≤ 95 µm |
| Zorné pole | ≤ 9 mm | ≤ 9 mm | ≤ 16 mm | ≤ 16 mm | ≤ 12 mm |
| Dodatečný optický zoom | Ne | Ne | Ano | Ano | Ne |
Optický profiloměr NewView 9000
3D optický profiloměr s opakovatelností až 0,01 nm
See product site in Czech
Compass 2
Compass 2 pro komplexní, plně automatizovanou metrologii povrchu čoček a mikro-čoček.
See product site in Czech