- Optixs
- Products
- Surface and thin layer measurement
- Optical lithography
Optical lithography
Subcategories and products for this section can be found below in Czech. If you need further information in English, don't hesitate to contact our product specialists.
Optical lithography
Optické litografy řady MicroWriter ML®3 umožňují přímý zápis do fotorezistu vysokou rychlostí s až sub-mikronovým rozlišením. Uplatnění naleznou mimo jiné v oblastech mikrofluidiky, mikroelektroniky, spintroniky, holografie a difraktivní optiky.
Rychlý bezmaskový zápis, jednoduché ovládání a příznivá cena jsou vhodnou kombinací pro R&D aplikace i tvorbu prototypů. Uživatele potěší možnost nadstandardních doplňků, jako je například integrovaný bezkontaktní profilometr nebo nástroj pro vizualizaci zapisované struktury na živý obraz vzorku.
ML3 Baby | ML3 Baby Plus | ML3 Mesa | ML3 | |
Zápis ve stupních šedi | ano | ano | ano | ano |
Rozlišení | 5 µm | 1 & 5 µm | 0.6, 1 & 5 µm | 0.6, 1, 2 & 5 µm |
Integrovaný optický profiloměr | ne | ano | ano | ano |
Teplotní stabilizace | ne | ne | ne | ano |

MicroWriter ML3
Optický litograf s přímým vysokorychlostním zápisem a vysokým rozlišením
See product site in Czech