Měření povrchů a vrstev
V naší nabídce naleznete komplexní sadu spičkových přístrojů pro analýzu povrchů a tenkých vrstev. Nabízíme jak systémy na bázi bezkontaktního, tak i kontaktního měření; systémy pro měření i vytváření struktury povrchu v nano- i mikro- měřítku, tloušťky a složení vrstev, měření tvarových odchylek v mikro- i makroskopické škále, komplexní analýzu optických i mechanických vlastností.
- Optické Profiloměry a Drsnoměry - bezkontaktní měření topografie & drsnosti, 3D metrologie povrchu
- AFM a AFSEM - sub-nm 3D mikroskopie s možností korelativní analýzy (SEM, EDX) a nanomanipulace
- Laserové Fizeau Interferometry - metrologie povrchu, měření tvaru optiky
- Laserové odměřovací interferometry a vibrometry - precizní měření posuvů & náklonů, vibrací, kalibrace polohovacích systémů
- Spektroskopické Elipsometry - charakterizace tenkých vrstev a multivrstev
- Nanoindentory - mechanické vlastnosti povrchu, tribologické testy
- Optické litografy - příprava mikrostruktur přímým (bezmaskovým) optickým zápisem
- Nanopolohovací platformy - ultra-stabilní velkoplošné polohování pro libovolné senzory vč. AFM
- Spin coatery - vybavení pro přípravu tenkých povlaků
Vero
Vero - rodina ultravýkonných AFM s interferometrickým odměřováním posuvu hrotu
VASE Elipsometr
Spektroskopický elipsometr se širokým spektrálním rozsahem a nastavitelným úhlem dopadu.
Jednopaprskový laserový interferometr
Jednopaprskový, vysoce přesný interferometr pro odměřování polohy.
Diferenciální laserový interferometr SP-DI
Systém pro diferenční měření délky a úhlu s nejvyšší stabilitou.
Dvoupaprskový interferometr
Dva paralelní měřící paprsky jsou využívány pro získání údajů o vzdálenosti, rozdílu poloh a úhlu.
Trojpaprskový laserový interferometr
Trojsvazkový interferometr pro přesné měření až 5 stupňů volnosti.
Kalibrační interferometr SP 15000 C
Kalibrační interferometr s až 6 stupni volnosti.
Laserový vibrometr
Extrémně přesný laserový interferometr pro měření vibračních spekter se snadnou justáží a ovládáním.
Měřidlo s dotykovou sondou
Kontaktní sonda s interferometrickým odměřováním pro určování tloušťky materiálu.
Jupiter XR
Jupiter XR pro AFM mikroskopii velkých vzorků bez kompromisů v rozlišení a rychlosti měření
Cypher Family
Cypher - rodina ultravýkonných AFM mikroskopů pro měření bez kompromisů.
MFP-3D family
MFP-3D rodina výkonných AFM mikroskopů (nejen) pro bioaplikace a materiálový výzkum.
Compass 2
Compass 2 pro komplexní, plně automatizovanou metrologii povrchu čoček a mikro-čoček.
Nanopolohovací platforma NPP-1
Planární polohovací platforma pro velkoplošné skenování nejen s AFM
AFSEM pro korelativní mikroskopii
AFSEM mikroskop pro korelativní měření AFM / SEM
Mapovací elipsometr Theta-SE
Rychlý spektroskopický elipsometr pro přesné mapování a charakterizaci vrstev
Mapovací elipsometr RC2® XF s mikrofokusem
Špičkový spektroskopický elipsometr s mikrofokusací. Měření na bázi dual RCE technologie a CCD detekce.
NanoTest Xtreme
Platforma pro testování mechanických vlastností materiálů ve vakuu
Verifire
Laserový Fizeau interferometr pro běžné měření tvaru optických prvků a reflexních povrchů
Spektroskopický elipsometr M-2000
Modulární spektroskopické elipsometry s unikátní kombinací rychlosti a přesnosti měření
MicroWriter ML3
Laserový litograf s přímým vysokorychlostním zápisem a vysokým rozlišením
Spektroskopický elipsometr RC2
Nejvyšší řada modulárních spektroskopických elipsometrů se dvěma rotujícími kompenzátory
Verifire VTS
Vertikální pracovní stanice pro laserový Fizeau interferometr slouží pro automatizované měření sférické, asférické i free-form optiky
Optický drsnoměr ZeGage Pro
Robustní 3D optický drsnoměr s opakovatelností až 0,01 nm
Zygo objektivy
Speciální objektivy Zygo pro WLI optické profiloměry
Optický profiloměr NewView 9000
Bezkontaktní, modulární 3D profiloměr pro přesnou metrologii povrchu
In-situ elipsometr iSE
Špičkový spektroskopický elipsometr dedikovaný pro in-situ měření
Elipsometr alpha 2.0
Základní spektroskopický elipsometr s nastavitelnými úhly dopadu.
Verifire Asphere+
Verifire Asphere+ interferometry pro flexibilní a přesnou metrologii asférických povrchů
Optický profilometr NexView NX2
Nejlepší bezkontaktní optický 3D profiloměr a drsnoměr na trhu s opakovatelností RMS až 0,005 nm
