Měření povrchů
- Optické Profiloměry a Drsnoměry - bezkontaktní měření drsnosti, 3D metrologie povrchu
- Laserové Fizeau Interferometry - metrologie povrchu, měření optiky
- Laserové odměřovací interferometry a vibrometry - precizní měření posuvů & náklonů, vibrací, kalibrace polohovacích systémů
- Spektroskopické Elipsometry - charakterizace tenkých vrstev a multivrstev
- Nanoindentory - mechanické vlastnosti povrchu, tribologické testy
- Optické litografy - příprava mikrostruktur přímým zápisem
- AFM a AFSEM - sub-nanometrová 3D metrologie s možností korelativní analýzy (SEM, EDX)
- Spin coatery - vybavení pro přípravu tenkých vrstev
Nanotest Vantage
Univerzální platforma pro testování mechanických vlastností materiálů
Optický profilometr NexView NX2
Nejlepší bezkontaktní optický 3D profiloměr a drsnoměr na trhu s opakovatelností RMS až 0,005 nm
Mapovací elipsometr Theta-SE
Rychlý spektroskopický elipsometr pro přesné mapování a charakterizaci vrstev
AFSEM pro korelativní měření
AFSEM mikroskop pro korelativní měření AFM / SEM
Jednopaprskový laserový interferometr
Jednopaprskový, vysoce přesný interferometr pro odměřování polohy i její výchylky v čase.
Diferenční laserový interferometr SP-DI
Série SP-DI představuje systém pro diferenční měření délky a úhlu s nejvyšší přesností.
Dvoupaprskový interferometr
Dva paralelní měřící paprsky jsou využívány pro získání údajů o vzdálenosti, rozdílu poloh a úhlu.
Trojpaprskový laserový interferometr
Trojsvazkový interferometr pro přesné měření až 5 stupňů volnosti.
Kalibrační interferometr 5DOF
Trojsvazkový interferometr s 5 stupni volnosti (5DOF) pro kalibraci polohovacích, měřicích (CMM) a CNC obráběcích nástrojů.
Laserový vibrometr
Extrémně přesný laserový interferometr pro měření vibračních spekter se snadnou justáží a ovládáním.
In-situ elipsometr iSE
Špičkový spektroskopický elipsometr dedikovaný pro in-situ měření
Optický profiloměr NewView 9000
Bezkontaktní modulární 3D profiloměr pro širkou škálu aplikací
NanoTest Xtreme
Platforma pro testování mechanických vlastností materiálů ve vakuu
Dynafiz
Laserový interferometr pro dynamická měření tvaru optických prvků s extrémní odolností proti vibracím
Verifire
Laserový Fizeau interferometr pro běžné měření tvaru optických prvků a reflexních povrchů
Spektroskopický elipsometr M-2000
Modulární spektroskopické elipsometry s unikátní kombinací rychlosti a přesnosti měření
MicroWriter ML3
Optický litograf s přímým vysokorychlostním zápisem a vysokým rozlišením
Spektroskopický elipsometr RC2
Nejvyšší řada modulárních spektroskopických elipsometrů se dvěma rotujícími kompenzátory
Verifire VTS
Vertikální pracovní stanice pro laserový Fizeau interferometr slouží pro automatizované měření sférické optiky
Optický drsnoměr ZeGage Pro
Robustní 3D optický drsnoměr s opakovatelností až 0,01 nm
Zygo objektivy
Speciální objektivy Zygo pro optické profiloměry
Měřidlo s dotykovou sondou
Kontaktní sonda s precizním, interferometrickým odměřováním polohy pro určování tloušťky materiálu.
