Měření povrchů
- Optické Profiloměry a Drsnoměry - bezkontaktní měření drsnosti, 3D metrologie povrchu
- Laserové Fizeau Interferometry - metrologie povrchu, měření optiky
- Spektroskopické Elipsometry - charakterizace tenkých vrstev a multivrstev
- Nanoindentory - mechanické vlastnosti povrchu, tribologické testy
- Optické litografy - příprava mikrostruktur přímým zápisem
- Spin coatery - vybavení pro přípravu tenkých vrstev
Nanotest Vantage
Univerzální platforma pro testování mechanických vlastností materiálů
Mapovací spektroskopický elipsometr Theta-SE
Rychlý spektroskopický elipsometr pro přesné mapování a charakterizaci vrstev
Optický profilometr NexView NX2
Nejlepší bezkontaktní optický 3D profiloměr a drsnoměr na trhu s opakovatelností RMS až 0,005 nm
In-situ elipsometr iSE
Špičkový spektroskopický elipsometr dedikovaný pro in-situ měření
Optický profiloměr NewView 9000
Bezkontaktní modulární 3D profiloměr pro širkou škálu aplikací
Zygo objektivy
Speciální objektivy Zygo pro optické profiloměry
Optický drsnoměr ZeGage Pro
Robustní 3D optický drsnoměr s opakovatelností až 0,01 nm
Spektroskopický elipsometr RC2
Nejvyšší řada modulárních spektroskopických elipsometrů se dvěma rotujícími kompenzátory
MicroWriter ML3
Optický litograf s přímým vysokorychlostním zápisem a vysokým rozlišením
Spektroskopický elipsometr M-2000
Modulární spektroskopické elipsometry s unikátní kombinací rychlosti a přesnosti měření
Verifire
Laserový Fizeau interferometr pro běžné měření tvaru optických prvků a reflexních povrchů
Dynafiz
Laserový interferometr pro dynamická měření tvaru optických prvků s extrémní odolností proti vibracím
NanoTest Xtreme
Platforma pro testování mechanických vlastností materiálů ve vakuu
Laserový vibrometr
Přístroje pro měření vibrací od německého výrobce SIOS Maßtechnik využívají jako základní funkční prvek technologii laserové interferometrie, která je doplněna dalším optickým vybavením.
