Verifire

VÝROBCE:

ZYGO

KATEGORIE:

Laserový interferometr Zygo Verifire™ je systém pro měření dokonalosti tvaru optických prvků nebo reflexních povrchů pevných materiálů do kruhového průměru 100 nebo 152 mm. Fizeau konstrukce interferometru umožňuje díky souosému vedení referenčního a testovacího svazku kompaktní provedení interferometru.

QPSI

Technika interferometrie s fázovým posuvem PSI (Phase Shifting Interferometry) ovládaným mechanickým posunem zrcadla interferometru zvyšuje přesnost měření interferometru. Originální zdokonalení této techniky označené jako QPSI (Quick Phase-Shifting Interferometry) posouvá odolnost proti běžným vibracím v prostředí průmyslového provozu za hranice běžné interferometrie s fázovým posuvem.

Klíčové vlastnosti

Světelným zdroje pro měření je stabilizovaný He-Ne laser (633 nm) s délkou koherence záření až 100 m
Interferenční obrazce jsou zaznamenávány integrovanou kamerou s rozlišením až 3400 x 3400 pixelů (HDX) a frekvencí snímkování až 210 Hz (při 11,5 MPx je frame rate 96 Hz)
Komplexní software MetroPro MX pro statistické zpracování dat a jejich vizualizace
Přistroj je vhodný pro měření v horizontálním i vertikálním uspořádání
Možnost dálkového ovládání interferometru pro zvýšení komfortu měření
Odolnost měření proti mechanickým vibracím

Verifire HD

Interferometr Zygo Verifire™ HD je variantou interferometru Verifire™ variantně osazeného dokonalejší kamerou pro snímání interferenčního obrazce. Vysoké rozlišení 5,3 MPx umožňuje odhalit jemnější nedokonalosti tvaru optických prvků, v řádech tzv. mid-spatial frequency. Novinkou je řada Verifire HDX s rozlišením 11,5 MPx.

Máte zájem o Verifire
Potřebujete radu?

Kontaktujte nás

Referenční projekt:

Laserový interferometr Zygo Verifire 6

Přední český výrobce optiky a zobrazovacích systémů

Parametry

	Verifire	Verifire HD
Apertura	4 a 6 palců (102 a 152 mm)	4 a 6 palců (102 a 152 mm)
Světelný zdroj	He-Ne laser, λ=633 nm se stabilitou <0,0001 nm, výkon 5mW, délka koherence > 100m	He-Ne laser, λ=633 nm se stabilitou <0,0001 nm, výkon 5mW, délka koherence > 100m
Rozlišení snímací kamery	1200 x 1200 Px	2304 x 2304 Px
Frekvence snímkování	160 Hz	210 Hz
Čas pořízení jednoho záznamu	80 - 186 ms	130 - 300 ms
Optický zoom	1 - 6 x (kontinuální, enkodovaný) + (digitální: 1 - 50 x)	fixní 1x, 1,7x nebo 3x (+digitálně 1 - 50 x)
Opakovatelnost měření RMS	< 0.06 nm, λ /10,000 (2σ)	< 0.06 nm, λ /10,000 (2σ)
Opakovatelnost měření vlnoplochy RMS	< 0.35 nm, λ /1,800 (mean + 2σ)	< 0.35 nm, λ /1,800 (mean + 2σ)

Příklady typických měřících aplikací

Měření optických elementů s různoběžnými plochami: klínovité tvary, hranoly – testování pravoúhlosti stran
Statická měření interferenčních proužků bez užití fázové modulace (většinou na objektech velkých průměrů)
Měření s aplikací Zernikeho polynomů v interpretaci naměřených dat
Měření vnitřních reflexních ploch odrazných hranolů
Měření povrchu pevných disků, sklonu v radiálním a axiálním směru, měření obvodových rychlostí apod.
Měření homogenity povrchu leštěných skel
Měření absolutních odchylek rovinatosti ploch s přesností vyšší než 1/100 vlnové délky
Měření kvality sférických optických prvků
Měření deformace vlnoplochy na odraz i průchod
Měření poloměru křivosti