Mapovací elipsometr RC2® XF s mikrofokusem

Spektroskopický elipsometr RC2 od J.A. Woollam s novou technologií Dual RCE (Rotating Compensator Ellipsometry) umožňuje rychlé a vysoce přesné měření široké škály materiálů jako např. organických materiálů, dielektrik, polovodičů i kovů. Jedná se o mikrofokusační elipsometr v konfiguraci PCSCA (Polarizer-Compensator-Sample-Compensator-Analyzer). Díky technologii Dual RCE měří RC2 spojitě (bez singulárních bodů) a s vysokou senzitivitou v celém rozsahu elipsometrických hodnot.

Používá se pro charakterizaci tenkých vrstev s mikrostrukturami nebo plošnými nehomogenitami, pro zjištění tloušťky vrstvy, optických vlastností,  komplexního indexu lomu, koeficientu absorpce a dalších.

Systém je k dispozici ve dvou variantách spektrálního rozsahu: 210 - 1000 nm a 210 - 1500 nm. Kompletní spektrum je snímání současně, v řádu desetin až jednotek sekund (v závislosti na průměrování dat). V obou variantách s fixním úhlem dopadu 65°.

Klíčové vlastnosti

  • Nejpřesnější elipsometr na bázi CCD
  • Měření kompletní Muellerovy matice
  • Dual RCE technologie se dvěma rotujícími kompenzátory
  • Spektrální rozsah až 210 - 1500 nm při simultánní detekci celého spektra
  • Velikost měřicí stopy 25 µm x 40 µm

Elipsometry řady RC2 jsou vybaveny plně automatizovaným systémem sběru dat. Motorizované polohování který umožňuje automatické mapování vzorku s mikrofokusací na velikost stopy 25 µm x 40 µm (nebo volitelně 25 µm x 60 µm).

Máte zájem o Mapovací elipsometr RC2® XF s mikrofokusem
Potřebujete radu?

Kontaktujte nás
  • RC2 je prvním spektroskopickým elipsometrem umožňujícím měřit všech 16 prvků Muellerovy matice v celém spektru, což umožňuje charakterizovat i ty nejnáročnější vzorky a nanostruktury. Například lze charakterizovat vrstvy, které jsou depolarizující a anizotropní současně.
    Například tak můžeme měřit multivrstvy s tekutými krystaly, vrstvy uspořádaných plazmonických nanočástic a mnohé další.
  • Patentovaný design využívající achromatických rotujících kompenzátorů je optimálním řešením pro široké spektrální měřicí rozsahy i dlouhodobou stabilitu, spolehlivost a životnost zařízení.
  • Modulární design umožňuje variabilitu konfigurace měření, ať už potřebujete zmapovat velkou plochu vzorku s fokusovaným svazkem pro vysoké prostorové rozlišení, nebo chcete měřit růst vrstev in situ, případně vás zajímá měření v průtokové cele, nebo jen obyčejné bodové měření, na vše může nabídnout řešení jediný přístroj: RC2.

 Díky kombinaci dlouholetých zkušeností a inovativních řešení tak J.A.Woollam představuje přístroj s bezkonkurenčními možnostmi rychlé a přesné spektroskopické elipsometrie - a to jak standardní (SE), tak i zobecněné (g-SE) a kompletní Muellerovy matice (MM-SE).

Máte zájem o Mapovací elipsometr RC2® XF s mikrofokusem? Potřebujete radu?

Pomůže Vám specialista sekce Richard Schuster, případně využijte naše další kontakty.

KONTAKTNÍ FORMULÁŘ

Informace o cookies na této stránce

Rádi bychom používali cookies. Umožní nám získat přehled o návštěvnosti webu, lépe cílit reklamu a vylepšovat naše služby.

Více informací

Nastavení cookies

Vaše soukromí je důležité. Používání souborů cookie si můžete vybrat, jak je popsáno níže. Vaše preference mohou být kdykoli změněny.