K používání a měření webu využíváme cookies. Používáním tohoto webu souhlasíte se způsobem, jakým s cookies nakládáme. Další informace

Mapovací spektroskopický elipsometr Theta-SE

Spektroskopický elipsometr Theta-SE s technologií Dual-Rotation a plně automatizovaným mapovacím theta-theta stolkem umožňuje měření uniformity vrstev u vzorků o průměru až 300 mm. Stiskem jediného tlačítka získáte kompletní a přesné optické vlastnosti vrstev v celé měřené ploše se sub-angströmovou citlivostí. Rychlou a přesnou detekci zajišťuje CCD detektor, který umožňuje měřit celé spektrum (v rozsahu 400-1000 nm) současně. 

Plně autonomní polohování vzorku, včetně automatického nastavení náklonu a výšky, umožňuje snadné ovládání a rychlé měření optických vlastností. Kompaktní design, vysoká rychlost měření a spolehlivost naměřených dat dělají z Theta-SE ideální nástroj za příznivou cenu.

Hlavní přednosti

  • Automatizované mapování uniformity vrstev
  • 300 mm mapovací stolek
  • Fokusovaný optický svazek
  • Rychlé a plně autonomní zarovnání vzorku
  • Kompaktní design
  • Příznivá cena
  • Rychlé, přesné, nedestruktivní měření
  • Technologie Dual-Rotation

Máte zájem o Mapovací spektroskopický elipsometr Theta-SE
Potřebujete radu?

KONTAKTUJTE NÁS

 

Rychlý mapping

Automaticky generovaná (upravitelná) dráha mappingu povrchu kruhového vzorkuTheta-SE je průkopníkem mezi cenově dostupnými, přesnými a rychlými mapovacími spektroskopickými elipsometry s pokročilými možnostmi analýzy dat díky profesionálnímu spektroskopickému softwaru CompleteEASE. Systém je vybaven fokusační optikou pro nominální velikost fokusovaného bodu 250 x 600 μm. Data z celého waferu tak můžete mít v řádu minut.

Dual-Rotation

Naměřená data umožnují díky použité technologie Dual-Rotation vyhodnocování na základě standardní i zobecněné spektroskopické elipsometrie i výpočet Muellerovy matice v celém spektru.

Spektrální rozsah

Široký spektrální rozsah (400 - 1000 nm) je plně dostačující pro naprostou většinu standardních tenkých vrstev, včetně vrstev kovů, dielektrických vrstev a multivrstev, oxidů, 2D materiálů typu grafénu atd.

Máte zájem o Mapovací spektroskopický elipsometr Theta-SE? Potřebujete radu?

Pomůže Vám specialita sekce Richard Schuster , případně využijte naše další kontakty.

KONTAKTNÍ FORMULÁŘ