Lasery a přístrojová technika

Optické litografy

Výrobce

Typické využití

Optické litografy

Optické litografy řady MicroWriter ML®3 umožňují přímý zápis do fotorezistu vysokou rychlostí s až sub-mikronovým rozlišením. Uplatnění naleznou mimo jiné v oblastech mikrofluidiky, mikroelektroniky, spintroniky, holografie a difraktivní optiky.

Rychlý bezmaskový zápis, jednoduché ovládání a příznivá cena jsou vhodnou kombinací pro R&D aplikace i tvorbu prototypů. Uživatele potěší možnost nadstandardních doplňků, jako je například integrovaný bezkontaktní profilometr nebo nástroj pro vizualizaci zapisované struktury na živý obraz vzorku.

  ML3 Baby ML3 Baby Plus ML3 Mesa ML3 Pro ML3 Pro XL
Zápis ve stupních šedi ano ano ano ano ano

Rozsah volitelného rozlišení

(# objektivů)

µm - 5 µm

(1 ks)

0.6 - 5 µm

(2 ks)

0.6 - 5 µm

(3 ks)

0.4 - 5 µm

(4 až 5 ks)

0.4 - 5 µm

(4 až 5 ks)

Integrovaný optický profiloměr ne ano ano ano ano
Teplotní stabilizace ne volitelně volitelně ano ano
Oblast zápisu [mm2] 149 x 149 149 x 149 149 x 149 195 x 195 295 x 295
MicroWriter ML3

MicroWriter ML3

Laserový litograf s přímým vysokorychlostním zápisem a vysokým rozlišením

Informace o cookies na této stránce

Rádi bychom používali cookies. Umožní nám získat přehled o návštěvnosti webu, lépe cílit reklamu a vylepšovat naše služby.

Více informací

Nastavení cookies

Vaše soukromí je důležité. Používání souborů cookie si můžete vybrat, jak je popsáno níže. Vaše preference mohou být kdykoli změněny.