- Optixs
- Produkty
- Měření povrchů
- Optické litografy
Optické litografy
Optické litografy
Optické litografy řady MicroWriter ML®3 umožňují přímý zápis do fotorezistu vysokou rychlostí s až sub-mikronovým rozlišením. Uplatnění naleznou mimo jiné v oblastech mikrofluidiky, mikroelektroniky, spintroniky, holografie a difraktivní optiky.
Rychlý bezmaskový zápis, jednoduché ovládání a příznivá cena jsou vhodnou kombinací pro R&D aplikace i tvorbu prototypů. Uživatele potěší možnost nadstandardních doplňků, jako je například integrovaný bezkontaktní profilometr nebo nástroj pro vizualizaci zapisované struktury na živý obraz vzorku.
ML3 Baby | ML3 Baby Plus | ML3 Mesa | ML3 Pro | ML3 Pro XL | |
Zápis ve stupních šedi | ano | ano | ano | ano | ano |
Rozsah volitelného rozlišení (# objektivů) |
1 µm - 5 µm (1 ks) |
0.6 - 5 µm (2 ks) |
0.6 - 5 µm (3 ks) |
0.4 - 5 µm (4 až 5 ks) |
0.4 - 5 µm (4 až 5 ks) |
Integrovaný optický profiloměr | ne | ano | ano | ano | ano |
Teplotní stabilizace | ne | volitelně | volitelně | ano | ano |
Oblast zápisu [mm2] | 149 x 149 | 149 x 149 | 149 x 149 | 195 x 195 | 295 x 295 |

MicroWriter ML3
Laserový litograf s přímým vysokorychlostním zápisem a vysokým rozlišením