Excimerové lasery
Excimerové lasery jsou zvláštní skupinou pulzních plynových laserů vyzařujích na vlnových délkách v ultrafialové (UV) části spektra v závislosti na použitém plynu. Lasery se kromě vlnové délky liší energií v pulzu a tudíž i středním výkonem, který se pohybuje od W až po jednotky kW.
Výstupní vlnové délky jsou:
- 157nm F2 Fluor
- 193nm ArF Argon Fluor
- 248nm KrF Krypton Fluor
- 308nm XeCl Xenon chlór
- 351nm XeF Xenon Fluor
Lasery generující záření v UV oblasti se používají pro povrchové úpravy, např. pro ablaci a značkování, vytvrzování, polovodičovou výrobu, výrobu vláknových prvků (např. Braggovy mřížky).
IndyStar
Kompaktní robustní excimerový laser s opakovací frekvencí až 2kHz a výstupem na 193 nebo 248 nm
See product site in Czech
COMPex
Kompaktní excimerový laser s energií v pulzu 750 mJ a opakovací frekvencí až 100 Hz
See product site in Czech
ExciStar
Coherent ExciStar představuje kompaktní excimerový laser navržený pro jednoduchou integraci se zbytkem systému.
See product site in Czech
LEAP
LEAP je excimerový laser od společnosti Coherent, který v sobě spojuje vysoký výkon, vynikající spolehlivost a nízké provozní náklady.
See product site in Czech
