Elipsometre

Výrobce

Typické využití

Elipsometre

Elipsometrie se využívá pro měření vlastností tenkých vrstev a povrchů, pracuje s polarizovaným světlem, které se na zkoumaném povrchu odráží, čímž dochází ke změně jeho polarizace. Při elipsometrii se obecně měří hodnoty týkající se polarizovaného světla, tj. psi a delta a z naměřených dat se pak fitací na určitý model teprve získají materiálové charakteristiky jako tloušťka, index lomu, optická konstanta, ale i další údaje jako depolarizace, anisotropie, krystaličnost, rovnoměrnost či charakteristika přechodových rozhraní.

Námi dodávané systémy od firmy J. A. Woolam patří mezi světovou špičku.

Elipsometry jsou dostupné buďto jako kompaktní jednoúčelové přístroje s omezeným rozsahem a nebo jako univerzální modulární systémy, které mohou měnit úhel měření, lze s nimi skenovat v širokém spektrálním rozsahu (od UV až do NIR či IR), mají celou škálu přídavných možností a hodí se hlavně pro oblast výzkumu nových materiálů nebo pro studium vlastností při nestandardních podmínkách (vakuum, nízké či vysoké teploty atd.).

Jako zdroj světla je v elipsometrech použitý buď laditelný monochromatický zdroj světla (světelný zdroj v kombinaci s monochromátorem) a na výstupu pak jednoduchý Si případně InGaAs detektor pro pokrytí oblasti od UV do NIR oblasti, nebo je na vstupu klasický širokopásmový světelný zdroj (výbojová lampa či halogenová žárovka) a na výstupu pak CCD či InGaAs lineární detektor, kam se zaznamená celé spektrum v jednom okamžiku. Tento princip je vhodný i pro insitu měření, tj. on-line měření v průběhu procesu.

Základní parametry při výběru elipsometru

  • Jednoúčelový systém nebo modulární univerzální elipsometr
  • Požadovaný spektrální rozsah (závisí na měřených materiálech a aplikacích)
  • Jestli je potřeba měnit úhly
  • Jaký je požadavek na rychlost a přesnost
  • Jedná-li se o ex-situ, in-situ aplikaci či kombinaci

Rádi s výběrem vhodného typu pomůžeme, také můžeme nechat proměřit vzorky v německé aplikační laboratoři.

Spektroskopický elipsometr RC2

Spektroskopický elipsometr RC2

Řada modulárních vysoce přesných spektroskopických elipsometrů

See product site in Czech
In situ elipsometr iSE

In situ elipsometr iSE

Nejvyšší řada modulárních spektroskopických elipsometrů se dvěma rotujícími kompenzátory

See product site in Czech
Spektroskopický elipsometr RC2

Spektroskopický elipsometr RC2

Řada modulárních vysoce přesných spektroskopických elipsometrů

See product site in Czech
Spektroskopický elipsometr M-2000

M2000

Modulární spektroskopické elipsometry s unikátní kombinací rychlosti a přesnosti měření

See product site in Czech
Mapovací spektroskopický elipsometr Theta-SE

Mapovací elipsometr Theta-SE

Rychlý spektroskopický elipsometr pro přesné mapování a charakterizaci vrstev

See product site in Czech
VASE Elipsometr

VASE Elipsometr

VASE je přesný a univerzální elipsometr od amerického výrobce J. A. Woollam pro výzkum všech typů materiálu.

See product site in Czech

Informace o cookies na této stránce

Rádi bychom používali cookies. Umožní nám získat přehled o návštěvnosti webu, lépe cílit reklamu a vylepšovat naše služby.

Více informací

Nastavení cookies

Vaše soukromí je důležité. Používání souborů cookie si můžete vybrat, jak je popsáno níže. Vaše preference mohou být kdykoli změněny.