Optická litografia
Optické litografy řady MicroWriter ML®3 od britského výrobce DMO (Durham Magnet Optics) umožňují přímý zápis do fotorezistu s vysokou rychlostí a sub-mikronovým rozlišením. Rychlý bezmaskový zápis, jednoduché ovládání a příznivá cena jsou vhodnou kombinací pro R&D aplikace i tvorbu prototypů.
| ML3 Baby | ML3 Baby Plus | ML3 Mesa | ML3 | |
| Greyscale litografie | ano | ano | ano | ano |
| Rozlišení | 5 µm | 1 & 5 µm | 0.6, 1 & 5 µm | 0.6, 1, 2 & 5 µm |
| Integrovaný optický profiloměr | ne | ano | ano | ano |
| Teplotní stabilizace | ne | ne | ne | ano |
MicroWriter ML3
Optický litograf s přímým vysokorychlostním zápisem a vysokým rozlišením
See product site in Czech