Sondy pro měření klíčových fyzikálních parametrů objemového plazmatu

PRODUKTY

Langmuir sonda

Langmuir sonda patří mezi nejvíce používané nástroje pro měření plazmy. Využívá se především pro měření potenciálu plazmatu, hustoty nabitých částic (elektrony & ionty) a pro měření elektronové teploty. To vše pomocí nejmodernějších dostupných teoretických modelů. 

Klíčové vlastnosti:

• Vyměnitelná sondová hlavice.
• Dostupné režimy: průměrný čas, časový trend, synchronizovaný pulsní profil.
• Funkce automatického čištění hrotu pomocí plazmového ostřelování elektrony   pro odstranění oxidů a izolačních vrstev.
• Integrovaný lineární pohon pro zajištění automatického profilování prostorové uniformity plazmy.
• Až 5 integrovaných RF kompenzačních filtrů v jedné sondě s DC referenční sondou jako standard.
• Kompatibilní s DC, pulsními DC, RF, pulsními RF, mikrovlnnými a dalšími excitačními metodami.
• Rychlost vzorkování 80 MS/s poskytuje bezkonkurenční časové rozlišení pro profilování pulsu a měření single shot plazmy.

Sonda Plato

Rovinná varianta Langmuir sondy uzpůsobená pro aplikace uvnitř plazmového reaktoru i během depozičních procesů,  kdy se na povrchu sondy ukládá izolační vrstva. Díky tomu je možné měřit fyzikální parametry plazmy, jako je hustota toku iontů a elektronová teplota. 

Klíčové vlastnosti:

• Měření hustoty plazmy, hustoty iontového proudu a elektronové teploty i v případě, kdy izolační vrstva pokrývá hrot sondy (až 10 mikronů).
• Dostupné režimy: průměrný čas, časový trend, synchronizovaný pulsní profil.
• Integrovaný lineární pohon pro zajištění automatického profilování prostorové uniformity plazmy.
• Pokročilé modely pro kompenzaci tlaku jsou zahrnuty v software, spolu s funkcí reanalýzy pro starší datové soubory.
• Kompatibilní s DC, pulsními DC, RF, pulsními RF, mikrovlnnými a dalšími excitačními metodami.
• Rozlišení 1 mikrosekunda dostupné pro pulzní procesy, s TTL portem pro pulz.