Sondy pro měření procesu na povrchu substrátu

PRODUKTY

Semion RFEA System

RFEA analyzátor určený pro měření toku iontů a funkce distribuce energie iontů (IEDF) dopadajících na povrch v reálném čase pomocí imitovaného substrátu s integrovanými senzory. 

Klíčové vlastnosti:

• Měření toku iontů a distribuce energie s rozsahem energie až 3000 eV (v závislosti na procesech).
• Až 13 senzorových prvků distribuovaných okolo imitovaného substrátu pro měření uniformity iontové energie a toku iontů na substrátu v průmyslových aplikacích. 

Semion 3 keV System

RFEA analyzátor pro měření toku iontů a funkce distribuce energie iontů (IEDF) v reálném čase s až 3 keV RF napětím, což je třikrát více než u standardního Semion systému. Senzor se skládá z waferu z eloxovaného hliníku (standardní verze) s jedním snímacím prvkem. 

Klíčové vlastnosti:

• Měření toku iontů a distribuce energie s rozsahem energie až 3000 eV (v závislosti na procesech).
• Plně automatizovaná softwarová analýza zahrnující IEDF přizpůsobení pro potenciální zkreslení DC senzorem.

Semion Pulsed DC

Systém pro přesné měření plazmatu a jeho parametrů, jako je měření funkce distribuce energie iontů (IEDF) dopadajících na povrch. Semion Pulsed DC je klíčovým systémem pro měření časového vývoje iontové energie a  jeho toku v různých časech prostřednictvím. Jedná se o jedinou komerčně dostupnou RFEA technologii na trhu se sub-mikrosekundovým časovým rozlišením. Díky těmto vlastnostem se jedná o klíčivé zařízení pro diagnostiku procesů plazmatu.

Klíčové vlastnosti:

• Rozsah energie až 2000 eV (v závislosti na procesech) a rozsah frekvence od DC do 350 kHz.
• Plně automatizovaná softwarová analýza zahrnující IEDF přizpůsobení pro potenciální předpětí DC senzorem.

Quantum RFEA System

Systém Quantum se skládá z RFEA analyzátoru a integrované mikrováhy křemenného krystalu (QCM), která se používá pro měření funkce distribuce energie iontů (IEDF) a poměru iontově neutrální depozice na povrchu uvnitř plazmového reaktoru. Systém měří a zobrazuje míru depozice, IEDF, tok iontů a napětí na povrchu, kde je umístěna sonda. Pomocí krystalů, které jsou povrstvené speciálním materiálem, dokáže měřit i míru leptání iontů a neutrálů. To vše bez nutnosti vodního chlazení.

Klíčové vlastnosti:

• Měření toku iontů a distribuce energie s rozsahem energie až 3000 eV (v závislosti na procesech).
• Plně automatizovaná softwarová analýza zahrnující IEDF přizpůsobení pro potenciální předpětí DC senzorem.
• Možnost montáže na elektricky předepjaté povrchy zahrnující např. radiofrekvenční (RF). 
• Unikátní struktura stínění umožňuje přesnou detekci úrovně milivoltů, 6 MHz, frekvence oscilace krystalů za přítomnosti RF předpětí až do úrovně 900 V. 

Vertex RFEA System

RFEA analyzátor pro měření toku iontů a funkce distribuce energie iontů (IEDF) dopadajících na povrch v reálném čase pomocí imitovaného substrátu s integrovanými senzory. 

Klíčové vlastnosti:

• Měření toku iontů a distribuce energie v rozsahu až 2000 eV (v závislosti na procesech) 
• Konfigurovatelné poměry stran (AR) v rozsahu 0.5 až 20 s 0.5 rozlišením
• Až 13 senzorů integrovaných do jediného držáku pro jednotu měření.
• Držáky s různými geometriemi na vyžádání 
• Plně automatizovaná softwarová analýza zahrnující IEDF přizpůsobení pro sensor DC bias potenciál.