Verifire
VÝROBCE: | ZYGO | KATEGORIE: |
Laserový Fizeau interferometr ZYGO Verifire pro měření dokonalosti tvaru optických prvků nebo reflexních povrchů pevných materiálů do kruhového průměru 100 nebo 150 mm. Interferometr je vybaven originální technikou měření a statistického zpracování dat QPSI poskytují vyšší odolnost proti běžným mechanickým vibracím v prostředí průmyslového provozu posunutou za hranice běžné interferometrie s fázovým posuvem.
QPSI
Technika interferometrie s fázovým posuvem PSI (Phase Shifting Interferometry) ovládaným mechanickým posunem zrcadla interferometru zvyšuje přesnost měření interferometru. Originální zdokonalení této techniky označené jako QPSI (Quick Phase-Shifting Interferometry) posouvá odolnost proti běžným vibracím v prostředí průmyslového provozu za hranice běžné interferometrie s fázovým posuvem.
Klíčové vlastnosti
- Světelným zdroje pro měření je stabilizovaný He-Ne laser (633 nm) s délkou koherence záření až 100 m
- Interferenční obrazce jsou zaznamenávány integrovanou kamerou s rozlišením až 11 MPx.
- frekvence snímkování až 210 Hz (dle kamery)
- Komplexní software MetroPro MX pro statistické zpracování dat a jejich vizualizace
- Přistroj je vhodný pro měření v horizontálním i vertikálním uspořádání
- Možnost dálkového ovládání interferometru pro zvýšení komfortu měření
- Odolnost měření proti mechanickým vibracím
Verifire HD / HDX
Interferometr Zygo Verifire™ HD a HDX jsou variantami interferometru Verifire™ osazeného dokonalejší kamerou pro snímání interferenčního obrazce. Vysoké rozlišení 5,3 MPx umožňuje odhalit jemnější nedokonalosti tvaru optických prvků, v řádech tzv. mid-spatial frequency.
Máte zájem o Verifire
Potřebujete radu?
Parametry
Verifire | Verifire HD | Verifire HDX | |
Apertura | 4 a 6 palců (102 a 152 mm) | ||
Světelný zdroj | He-Ne laser, λ=633 nm se stabilitou <0,0001 nm, výkon 3 mW, koherenční délka > 100m | ||
Rozlišení snímací kamery | 1,2k x 1,2k Px | 2,3k x 2,3k Px | 3,4k x 3,4k Px |
Frekvence snímkování | 160 Hz | 210 Hz | 96 Hz |
Čas pořízení jednoho záznamu | 81 - 188 ms | 130 - 300 ms | |
Zvětšení | 1 - 5 x, kontinuální optické; (1 - 50 x digitálně) | 1x, 1,7x a 3x diskrétní optické; (1 - 50 x digitálně) | |
Opakovatelnost měření RMS | < 0.06 nm, λ /10,000 (2σ) | ||
Opakovatelnost měření vlnoplochy RMS | < 0.35 nm, λ /1,800 (mean + 2σ) |
Příklady typických měřících aplikací
- Měření optických elementů s různoběžnými plochami: klínovité tvary, hranoly – testování pravoúhlosti stran
- Statická měření interferenčních proužků bez užití fázové modulace (většinou na objektech velkých průměrů)
- Měření s aplikací Zernikeho polynomů v interpretaci naměřených dat
- Měření vnitřních reflexních ploch odrazných hranolů
- Měření povrchu pevných disků, sklonu v radiálním a axiálním směru, měření obvodových rychlostí apod.
- Měření homogenity povrchu leštěných skel
- Měření absolutních odchylek rovinatosti ploch s přesností vyšší než 1/100 vlnové délky
- Měření kvality sférických optických prvků
- Měření deformace vlnoplochy na odraz i průchod
- Měření poloměru křivosti
Související produkty
Máte zájem o Verifire? Potřebujete radu?
Pomůže Vám specialista sekce Richard Schuster, případně využijte naše další kontakty.