Mapovací elipsometr Theta-SE

VÝROBCE:

J.A. Woollam CO.

KATEGORIE:

Spektroskopický elipsometr Theta-SE s technologií Dual-Rotation a plně automatizovaným mapovacím theta-theta stolkem umožňuje měření uniformity vrstev u vzorků o průměru až 300 mm. Stiskem jediného tlačítka získáte kompletní a přesné optické vlastnosti vrstev v celé měřené ploše se sub-angströmovou citlivostí. Rychlou a přesnou detekci zajišťuje CCD detektor, který umožňuje měřit celé spektrum (v rozsahu 400-1000 nm) současně.

Plně autonomní polohování vzorku, včetně automatického nastavení náklonu a výšky, umožňuje snadné ovládání a rychlé měření optických vlastností. Kompaktní design, vysoká rychlost měření a spolehlivost naměřených dat dělají z Theta-SE ideální nástroj za příznivou cenu.

Hlavní přednosti

Automatizované mapování uniformity vrstev
300 mm mapovací stolek
Fokusovaný optický svazek
Rychlé a plně autonomní zarovnání vzorku
Kompaktní design
Příznivá cena
Rychlé, přesné, nedestruktivní měření
Technologie Dual-Rotation

Máte zájem o Mapovací elipsometr Theta-SE
Potřebujete radu?

Kontaktujte nás

Parametry

Design	Dual Rotation
Úhly dopadu (AOI)	Typicky 65°
Rychlost sběru dat	až 0,6 s (Typicky 1 - 2 s)
Detektor	CCD
Maximální rozměry	520 mm x 520 mm x 385 mm
Spektrální rozsah	400 - 1000 nm
Počet vlnových délek	190, celé spektrum měřeno současně
Rozsah mapování	ø 300 mm
Fokusace na povrch vzorku	ano, s automatickým ostřením
Automatické nastavení vzorku	ano, náklony (tip&tilt) a výška (z)

Rychlý mapping

Theta-SE je průkopníkem mezi cenově dostupnými, přesnými a rychlými mapovacími spektroskopickými elipsometry s pokročilými možnostmi analýzy dat díky profesionálnímu spektroskopickému softwaru CompleteEASE. Systém je vybaven fokusační optikou pro nominální velikost fokusovaného bodu 250 x 600 μm. Data z celého waferu tak můžete mít v řádu minut.

Dual-Rotation

Naměřená data umožnují díky použité technologie Dual-Rotation vyhodnocování na základě standardní i zobecněné spektroskopické elipsometrie i výpočet Muellerovy matice v celém spektru.

Spektrální rozsah

Široký spektrální rozsah (400 - 1000 nm) je plně dostačující pro naprostou většinu standardních tenkých vrstev, včetně vrstev kovů, dielektrických vrstev a multivrstev, oxidů, 2D materiálů typu grafénu atd.