Was ist ein Reinraum?
Ein Reinraum ist ein geschlossener Bereich, in dem die Konzentration luftgetragener Partikel wie Staub, Mikroorganismen oder chemische Dämpfe kontrolliert wird. Zur Aufrechterhaltung der erforderlichen Bedingungen kommen Luftfiltersysteme (vor allem HEPA- oder ULPA-Filter) zum Einsatz. Darüber hinaus gelten definierte Regeln für die Bekleidung des Personals, die Bewegung im Reinraum sowie den Umgang mit Materialien.
In den Bereichen Photonik, Lasertechnik und Präzisionsoptik ist das Arbeiten in einer kontrollierten, sauberen Umgebung unerlässlich. Staubpartikel im Mikrometerbereich können empfindliche optische Komponenten beschädigen, Antireflexbeschichtungen beeinträchtigen, eine unerwünschte Streuung des Laserstrahls verursachen oder Fertigungs- und Prüfprozesse beeinflussen.
Welche Normen gelten?
Der grundlegende internationale Standard für die Klassifizierung von Reinräumen ist ISO 14644-1. Die Norm definiert Reinheitsklassen von ISO 1 bis ISO 9 anhand der maximal zulässigen Partikelkonzentration pro Kubikmeter. ISO 1 unterliegt den strengsten Grenzwerten, während ISO 9 einer gewöhnlichen unkontrollierten Umgebung entspricht.
In den Bereichen Präzisionsoptik, Lasertechnik und Photonik werden am häufigsten die Klassen ISO 5 bis ISO 7 eingesetzt. Die Montage und Prüfung empfindlicher optomechanischer und lasertechnischer Systeme erfordert typischerweise eine ISO-5-Umgebung (max. 3.520 Partikel größer als 0,5 µm pro m³). Für weniger kritische Anwendungen und vorbereitende Arbeitsschritte sind die Klassen ISO 6 und ISO 7 in der Regel ausreichend.
In der technischen Praxis ist teilweise auch noch die amerikanische Norm U.S. Fed. 209E anzutreffen. Sie wurde im Jahr 2001 zurückgezogen und auch in den USA durch ISO 14644-1 ersetzt. Dennoch werden Bezeichnungen nach dieser Norm weiterhin verwendet.
Die von uns angebotenen Spetec Flowmodule erfüllen die Anforderungen der Klasse ISO 5 nach ISO 14644-1. Dies entspricht der Reinraumklasse 100 nach U.S. Fed. 209E.
Anwendungen
- Halbleiter und Präzisionselektronik
- Produktionsbereiche für Halbleiter
- Forschungs- und Produktionslabore für MEMS
- Montage- und Prüfbereiche für Chips
- Optik und Photonik
- Labore für die Entwicklung und Herstellung von Lasern und optischen Fasern
- Produktionsbereiche für Optoelektronik
- Arbeitsbereiche für Präzisionsoptik und Spiegel
- Präzisionstechnik und fortschrittliche Technologien
- Montagehallen für die Luft- und Raumfahrtindustrie
- Metrologie- und Kalibrierlabore
- Arbeitsbereiche für Mikrobearbeitung und Präzisionsmechanik
- Nanotechnologielabore
- Wissenschaft, Forschung und analytische Labore
- Labore für chemische Spurenanalytik und Forensik
- Entwicklungsbereiche für Nanofasern
- Alle Bereiche mit spezifischen Anforderungen an Reinheit und Staubbelastung