Die hergestellten Oberflächen können unterschiedliche Formen und Größen aufweisen. Bei Oberflächen, bei denen die Charakterisierung der Form entscheidend ist, zeichnen sich die Laserinterferometer und 3D-Optischen Profilometer von ZYGO durch eine Wiederholgenauigkeit im Subnanometerbereich bei der berührungslosen Erfassung von Oberflächendaten aus. Die Integration von Industriestandards für Form und Ebenheit in die Analysesoftware Mx™ schafft ein Werkzeug zur Oberflächenprüfung mit nur einem Messschritt. Entdecken Sie mit uns Lösungen für Ihre Anwendungen im Bereich der Form- und Ebenheitsmesstechnik.
Formmessung
Die Formmesstechnik lässt sich als absolute oder relative Oberflächenmessung im Vergleich zu einer Referenzform zusammenfassen. Die Produkte von ZYGO decken allgemeine Anwendungen wie Kugeln und Zylinder für Standardmessungen mit Standardprodukten ab, ebenso wie spezialisierte Anwendungen und Werkzeuge für komplexere Formen wie Asphären oder dünnes Glas.
Das Anwendungsspektrum von ZYGO im Bereich der Formmesstechnik ist ebenso breit gefächert wie unsere Werkzeuge flexibel sind. Fasenradien, Prismenwinkel oder Abweichungen zwischen Flächen sowie Oberflächenkrümmungen sind nur einige Beispiele. Kartesische und rotationssymmetrische Anpassungsfunktionen begleiten Millionen von Datenpunkten über die gesamte Oberfläche hinweg, um das Vertrauen in unsere Formmesstechnik zu gewährleisten.
Ebenheitsmessung
Die Ebenheitsmessung wird innerhalb der ZYGO-Produktpalette auf verschiedene Weise durchgeführt. Hochwertige Transmissionsplatten (bis zu λ/50) ermöglichen es den Laserinterferometern von ZYGO, Ebenen von Weltraumteleskopen bis hin zu geschliffenen Stahloberflächen zu messen. Die Mx™-Software erweitert den Anwendungsbereich der Ebenheitsmesstechnik auf überdimensionale (größer als 4 bis 6") rechteckige Oberflächen durch Messungen im Gleitkontakt.
Optische Profilmessgeräte mit motorisierter Rasterung überwinden die Einschränkungen von Messungen mit kleinem Sichtfeld durch Stitching und Musterbewegungen zur Untersuchung und Darstellung der Ergebnisse zur Oberflächenebenheit. Ebenso ermöglicht der Arbeitsabstandsbereich unserer Mikroskopobjektive die Messung von flachen Sitzen und Dichtungen in vertieften Hohlräumen.
Dank einer Vielzahl von Lösungen und eines robusten Anwendungsbereichs ist ZYGO stolz darauf, führend im Bereich der Messung von Oberflächenform und -ebenheit zu sein. Erfahren Sie, wie ZYGO Ihre Oberflächenspezifikationen erfüllen und gleichzeitig Ihre Erwartungen übertreffen kann.
