Geräte zur Analyse von Oberflächen und dünnen Schichten, darunter optische Profilometer und Rauheitsmessgeräte, Laser-Fizeau-Interferometer und optische Lithografen der Hersteller Zygo, Quantum Design Europe, SIOS Meßtechnik GmbH, J. A. Woollam und KLA Instruments.