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Crylas

Anwendungsbereiche:

Raman-Spektroskopie und -Mikroskopie | Lithografie | Scatterometrie | Interferometrie | Photolumineszenz | Fluoreszenz | Prüfung und Ausrichtung von UV-Optiken | Beschriftung von Faser-Bragg-Gittern | Inspektion von Wafern in der Halbleiterfertigung

FQCW-UV-Dauerwellenlaser

266 nm, Leistung 10 bis 1200 mW, sehr schmale Spektrallinie.

Die Laser der Serie FQCW266 zeichnen sich durch hervorragende Eigenschaften des Ausgangsstrahls bei einer Wellenlänge von 266 nm aus. Unabhängig vom Modell überzeugen alle Produkte durch ihre nahezu konkurrenzlose Kohärenzlänge > 1000 m und eine spektrale Bandbreite von < 300 kHz. Es sind Varianten im Nennleistungsbereich von 10 mW bis 1,2 W erhältlich.

Highlights

  • Wellenlänge: 266 nm
  • Spektrale Bandbreite: < 300 kHz
  • Ausgangsleistung: 10–1200 mW je nach Variante

Hauptmerkmale

  • Einfrequenz-UV-Laser für präzise und stabile Anwendungen
  • Dauerbetrieb CW bei 266 nm
  • sehr schmale Spektrallinie < 300 kHz
  • lange Kohärenzlänge > 1000 m
  • sehr gute Strahlqualität M² < 1,3, Modus TEM00
  • Leistungsregelung im Bereich von ca. 10–110 % der Nennleistung
  • Integrierte Überwachung der Ausgangsleistung für maximale Stabilität
  • keine Wasserkühlung erforderlich, je nach Variante Leitungs- oder Luftkühlung
  • geringer Wartungsaufwand und lange Wartungsintervalle
  • bei höheren Leistungen System ACS – Automatic Crystal Shifter zur Verlängerung der Lebensdauer
  • auch für den 24/7-Industriebetrieb geeignet
  • Kommunikation über USB / RS232, bei Hochleistungsversionen zusätzlich Ethernet

Produktbeschreibung

Stabile UV-Quelle für präzise Messungen

Laser der FQCW-Serie erzeugen kontinuierliche UV-Strahlung mit einer Wellenlänge von 266 nm und einer sehr schmalen Spektrallinie ( < 300 kHz) und einer langen Kohärenzlänge (> 1000 m). Dank der Strahlqualität TEM00 (M² < 1,3) eignen sie sich für Anwendungen, bei denen hohe Stabilität und Genauigkeit entscheidend sind, beispielsweise Raman-Spektroskopie, Interferometrie, Lithografie oder optische Messtechnik.

Breiter Leistungsbereich

Die Laserfamilie deckt einen Leistungsbereich von 10–1200 mW ab und ermöglicht so die Auswahl der optimalen Variante sowohl für Laborexperimente als auch für anspruchsvolle industrielle Anwendungen, beispielsweise die Waferprüfung in der Halbleiterindustrie.

Zuverlässiger Betrieb und einfache Integration

Die Laser sind mit einer aktiven Leistungsstabilisierung sowie Schnittstellen wie USB, RS232 oder Ethernet ausgestattet, was eine einfache Integration in Labor- und OEM-Systeme ermöglicht. Bei den leistungsstärkeren Varianten kommt zudem das ACS-System (Automatic Crystal Shifter) zum Einsatz, das die Lebensdauer des UV-Kristalls verlängert und einen langfristig stabilen Betrieb ermöglicht.

Lange Lebensdauer und einfache Wartung

  • Lange Lebensdauer und ACS: Das integrierte Automatic Crystal Shifter (ACS)-System nutzt den Konversionskristall optimal aus, was dessen Lebensdauer deutlich erhöht und das Wartungsintervall auf bis zu 16.000 Betriebsstunden verlängert.
  • Kühlung: Dank des luftgekühlten Aluminiumgehäuses ist kein Wasserkühlkreislauf erforderlich.
  • Betriebsgas: Für den Betrieb reicht es aus, die Austrittsöffnung mit sauberer, trockener Luft (CDA) oder Stickstoff (N₂) zu spülen – eine interne Gassteuerung ist nicht erforderlich.
  • Möglichkeit der Fernanbindung und -diagnose
  • Der Laser ist wiederaufbereitbar (Original-Wiederaufbereitung durch Crylas)

Für den Dauerbetrieb ausgelegt

  • Industrieller Einsatz: Die Serie der Hochleistungs-UV-Laser FQCW266 ist für den 24/7-Einsatz in industriellen Umgebungen ausgelegt. Sie ist die ideale Wahl für OEM-Kunden in der Halbleiterfertigung oder für hochpräzise Forschungsanwendungen.
  • Geschwindigkeit und Energieverbrauch: Mit einer typischen Aufwärmzeit von nur 30 Minuten und einem durchschnittlichen Energieverbrauch von 200 W überzeugt sie durch Effizienz und Zuverlässigkeit bei gleichzeitig niedrigen Betriebskosten.

Parameter

Variante Nennleistung Einstellbare Leistung Wellenlänge Spektrallinienbreite Kohärenz Strahlqualität
FQCW266-10 10 mW 2–12 mW 266 nm < 300 kHz > 1000 m M² < 1,3
FQCW266-25 25 mW ca. 10–110 % des Nennwerts* 266 nm < 300 kHz > 1000 m m² < 1,3
FQCW266-50 50 mW ca. 10–110 % des Nennwerts* 266 nm < 300 kHz > 1000 m M² < 1,3
FQCW266-100 100 mW 10–110 mW 266 nm < 300 kHz > 1000 m M² < 1,3
FQCW266-200 200 mW ca. 10–110 % des Nennwerts* 266 nm < 300 kHz > 1000 m m² < 1,3
FQCW266-300 300 mW gemäß High-Power-Plattform 266 nm < 300 kHz > 1000 m m² < 1,3
FQCW266-600 600 mW gemäß High-Power-Plattform 266 nm < 300 kHz > 1000 m m² < 1,3
FQCW266-1200 1200 mW 120–1200 mW 266 nm < 300 kHz > 1000 m m² < 1,3

* Der Hersteller gibt für die FQCW266-Familie allgemein einen Einstellbereich von ca. 10–110 % der Nennleistung an; auf den jeweiligen Produktseiten sind Werte beispielsweise für die 10-mW-, 100 mW und 1200 mW-Varianten angegeben.

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