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PHYSIK-INSTRUMENTE

Anwendungsbereiche:

Positionierung

Referenzprojekte

Hochpräzise Linearachsen

Sind Sie auf der Suche nach hochpräzisen Linearachsen mit einer Genauigkeit im Submikrometerbereich? Bei uns finden Sie Positioniersysteme mit einer bidirektionalen Wiederholgenauigkeit von typischerweise ±0,05 μm. Es sind Ausführungen mit und ohne Encoder erhältlich, die Tragfähigkeit der Linearachsen reicht von 1 kg bis zu 100 kg. Ebenfalls erhältlich sind Ausführungen für den Einsatz im Vakuum.

Antriebsarten

Schrittmotoren
Servomotoren
Dreiphasen-Servomotoren
Linearmagnetmotoren

Typische Parameter

Positionierbereich von 13 bis 306 mm
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit typischerweise ±0,05 μm mit Encoder
Tragkraft von 1 bis 100 kg

Fachberater

Ing. Petr Březina

+420 607 014 272

brezina@optixs.cz

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Produktbeschreibung

Sind Sie auf der Suche nach hochpräzisen Linearachsen mit einer Genauigkeit im Submikrometerbereich? Bei uns finden Sie Positioniersysteme mit einer bidirektionalen Wiederholgenauigkeit von typischerweise ±0,05 μm. Es sind Ausführungen mit und ohne Encoder erhältlich, die Tragfähigkeit der Linearachsen reicht von 1 kg bis 100 kg. Ebenfalls erhältlich sind Ausführungen für den Einsatz im Vakuum.

Antriebsarten

Schrittmotoren
Servomotoren
Dreiphasen-Servomotoren
Linearmagnetmotoren

Typische Parameter

Positionierbereich von 13 bis 306 mm
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit typischerweise ±0,05 μm mit Encoder
Tragkraft von 1 bis 100 kg

Zubehör

L-505 Sehr kompakte Linearachse

Positionierbereich 13 oder 26 mm
Schrittmotor oder Gleichstrommotor mit und ohne Untersetzung
Max. Geschwindigkeit bis zu 15 mm/s
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit bis zu ± 0,15 µm
Min. Schrittweite bis zu 0,1 µm
Tragkraft bis zu 3 kg

V-522; V-524; V-528 Hochdynamischer PIMag®-Linearpositioniertisch

Verfahrbereich 5; 10 und 20 mm
Max. Geschwindigkeit bis zu 250 mm/s
Abtastfrequenz 10 Hz
Wiederholgenauigkeit ±s; 0,15 µm
Min. Schrittweite 0,05 µm
Inkrementale Positionsmessung (Encoder) mit einer Auflösung von 15 nm
Tragkraft bis zu 10 kg

V-508 PIMag® Präzisions-Linearachse mit Linearmotor

Kompaktes Profil von nur 80 x 25 mm
Positionierbereich bis zu 250 mm
Linearmotor ohne Ferritkern
Max. Geschwindigkeit bis zu 1000 mm/s
Bidirektionale Wiederholgenauigkeit bis zu ± 0,05 µm
Ausführung mit inkrementellem oder absolutem Encoder
Tragkraft bis zu 10 kg
Kreuzrollenlager für hochpräzise Führung

M-122.2DD1 Miniatur-Linearachse

Kompakte Bauweise
Positionierbereich bis zu 25 mm
DC-Servomotor
Max. Geschwindigkeit 20 mm/s
Einseitige Wiederholgenauigkeit ±0,15 µm
Min. Schrittweite 0,2 µm, Tragkraft 5 kg
Inkrementale Positionsmessung
Einfache Kombination zu XY- oder XYZ-Systemen

MTS-65 Miniatur-Linearachse

Kompakte Bauweise
Positionierbereich bis zu 52 mm
Schrittmotor
Max. Geschwindigkeit 8 mm/s
Wiederholgenauigkeit in beide Richtungen ±5 µm
Min. Schrittweite 0,1 µm
Tragkraft 1 kg

L-509 Präzisions-Linearachse

Positionierbereich von 26 bis 102 mm
Positionswiederholgenauigkeit bis zu 0,1 µm
Optionale Positionsmessung (Linearencoder)
Antriebsauswahl: ActiveDrive-DC-Servomotor, Schrittmotor, DC-Motor mit Getriebe
Referenzschalter für die Position
Integrierte optische Endschalter

L-511 Hochpräzise Linearachse

Positionierbereich bis zu 155 mm
Optional optische Positionsmessung (Encoder)
Antriebsauswahl: ActiveDrive-DC-Servomotor, Schrittmotor, DC-Motor mit Getriebe
Positionsreferenzschalter

V-551 PIMag® Präzisions-Linearachse mit Linearmotor

Kompakte Bauweise, Tischbreite nur 160 mm
Positionierbereich bis zu 230 mm
Max. Geschwindigkeit bis zu 500 mm/s
Encoder-Auflösung (direkte Positionsmessung) 1 nm
Tragkraft bis zu 15 kg
Präzise Kugelführung ohne Spiel (Zero-Backlash)

M-511; M-521; M-531 hochpräzise Linear-Positioniertische

M-511; M-521; M-531 hochpräzise Linearachsen

Varianten 102, 204 und 306 mm
Max. Geschwindigkeit bis zu 100 mm/s
Encoder-Auflösung (direkte Positionsmessung) 20 nm
Tragkraft bis zu 100 kg
Präzise Kugelführung ohne Spiel (zero-backlash)

HPS-170 Hochpräziser Lineartisch mit Schrittmotor

HPS-170 Hochpräzise Linearachse

Positionierbereich bis zu 305 mm
Wiederholgenauigkeit in beide Richtungen bis zu ±0,05 µm in der Ausführung mit Encoder
Max. Geschwindigkeit bis zu 90 mm/s
Tragkraft bis zu 35 kg
Integrierte optische Endschalter
Optional optische Positionsmessung (Encoder)
Vakuumausführung