Optisches 3D-Profilometer auf WLI-CSI-Basis von einem führenden amerikanischen Hersteller Zygo Inc. (Ametek).
Es handelt sich um ein System aus einem Weißlicht-Interferometer-3D-Mikroskop mit der Möglichkeit der Messung mittels Phasenverschiebung (Phase-Shifting-
Interferometrie), um eine Wiederholgenauigkeit im Sub-Angström-Bereich für jedes beliebige Sichtfeld zu erreichen. Die Auflösung in der Z-Achse ist
unabhängig von der Vergrößerung des Objektivs.
Das System dient zur Messung praktisch beliebiger Oberflächen, die Bedienung des Geräts ist äußerst einfach und ermöglicht eine vollständige
Messung per Knopfdruck.
Die Auswertung kann anhand von 3D-Daten oder beliebigen 2D-Schnitten (kreisförmige oder lineare Schnitte) erfolgen. Selbstverständlich besteht die
Möglichkeit, die gemessene Oberfläche in ein 3D-Modell zu exportieren.
Das gelieferte System enthält eine integrierte Antivibrationsplatte und erreicht dank optimierter Messmodi eine extrem
hohe Wiederholgenauigkeit und Messgenauigkeit unter den anspruchsvollsten Bedingungen, und zwar direkt in der Produktionshalle an der Bearbeitungsmaschine
erzielt.
Geräteparameter
- Probenpositionierung: motorisierter 5-Achsen-Tisch XYZRP
- Satz interferometrischer Objektive
- Zusätzlicher optischer Zoom
- Möglichkeit zum Zusammenfügen von Sichtfeldern: JA
- Wiederholgenauigkeit der Oberflächentopografie: < 0,08 nm
- Software: Hochwertige Mx™-Software, speziell für die Anforderungen der Oberflächenmessung und -analyse entwickelt
