Dreifach-Laser-Interferometer SP-TR von SIOS , das drei Laserstrahlen für die präzise, gleichzeitige Messung von Neigungen (Pitch und Yaw) und Positionen dient in erster Linie zur Kalibrierung von Positioniersystemen von Werkzeugmaschinen, Koordinatenmessgeräten (CMM) und anderen linearen Führungen mit hohen Genauigkeitsanforderungen.
Das Interferometer nutzt drei Messstrahlen eines stabilisierten HeNe-Lasers, die es ermöglichen, die Position an drei verschiedenen Punkten gleichzeitig zu messen, und somit zur Berechnung der Geradheit einer Linearführung, Neigungen oder zur Bestimmung der Position unabhängiger Punkte.
Das Interferometer ermöglicht somit die Messung der Geradheit der Führung (einschließlich der Bestimmung von Winkelabweichungen) gemäß DIN ISO 230-1 in nur einer einzigen Messung und ohne jegliche Justierung.
