Laser-Fizeau-Interferometer Verifire 6” vom führenden amerikanischen Hersteller Zygo Inc. (Ametek) mit einem vibrationsgedämpften Tisch von TMC (Ametek).
Es handelt sich um ein Präzisions-Laserinterferometer mit Phasenverschiebung (Phase-Shifting-Interferometer) mit einer Referenzoptik, deren Oberflächenqualität besser als Lambda/20 (PVr, bei 633 nm) ist, sowie einem optischen Tisch zur Schwingungsisolierung.
Zum Lieferumfang gehört der vibrations- und luftströmungsunempfindliche QPSI-Messmodus, der sich optimal für den Einsatz in Produktionshallen eignet.
Das System dient zur Messung von planer und sphärischer Optik sowie zur Qualitätsprüfung großformatiger, präzise bearbeiteter Metallteile. Es ermöglicht den Vergleich mit Modelldaten zur anschließenden Optimierung der Fertigung. Zudem ist der Export und Import von Daten für optische Simulationen (beispielsweise mit der Software Zemax) sowie der Vergleich der Abweichungen zwischen dem Modell des gemessenen Bauteils und den tatsächlich gemessenen Ergebnissen möglich.
Selbstverständlich verfügt das Gerät über einen motorisierten, stufenlos einstellbaren optischen Zoom von 1x bis 5x.
Geräteparameter
- Laserquelle: Stabilisierter HeNe, 632,8 nm, verlängerte Garantie, Hersteller: Zygo
- Durchmesser des Messstrahls: 4” (100 mm)
- Optischer Zoom: stufenlos im Bereich von 1x bis 5x, motorisiert
- Software: Die hochmoderne Mx™-Software wurde speziell für die Anforderungen der Messung und Analyse optischer Oberflächen mittels optischer Interferometrie entwickelt
