Im November 2021 haben wir für das Institut für Messtechnik der Tschechischen Akademie der Wissenschaften (AV ČR) einen Microwriter ML3 Baby+ Dual-Wave des britischen
Herstellers Durham Magneto Optics Ltd. (DMO) installiert.
Es handelt sich um ein System mit wählbarer Auflösung von 0,6 µm und 5 µm, das weiter ausgebaut werden kann und über ein hochpräzises Positioniersystem
mit mittlerem Belichtungsbereich (150 mm x 150 mm) verfügt.
Die duale Belichtungsquelle ist eine Neuheit für die optimale Belichtung einer breiten Palette von Fotolacken (g-, h-, i-Line- und Breitband-
Fotolacke). Konstruktiv besteht das System aus zwei Belichtungseinheiten (leistungsstarke Schmalband-LEDs: 365 nm und 405 nm) mit
automatischer Umschaltung je nach Bedarf des Anwenders.
Die Funktion des integrierten Profilometers ermöglicht unter anderem die Überprüfung der Belichtung nach der Strukturentwicklung.
Die Belichtung ist auch in Graustufen bei Beibehaltung einer hohen Geschwindigkeit der Flächenbelichtung möglich, und zwar in 256 Intensitätsstufen.
Geräteparameter
- Wellenlänge der Lichtquelle: 365 nm + 405 nm
- Auflösungsvermögen der Aufnahme: 600 nm, 5000 nm
- Anzahl der Objektive: 2 (3- bis 20-fache Vergrößerung) mit der Möglichkeit einer zukünftigen Erweiterung und mit digitalem Zoom.
Weitere Funktionen: Wide-Field-Viewer, integriertes Profilometer, Autofokus, Fokusarretierung, virtuelle Rotation,
automatische Probenzentrierung, automatische Kantenerkennung, automatische Markererkennung
