Messgerät mit Kontaktsonde der Serie LM von SIOS mit interferometrischer Messung dient zur präzisen Bestimmung von Abmessungen und zur Kalibrierung von Normalen (Messblöcken).
Die Messgeräte der Serie LM werden in erster Linie zur Kalibrierung von plan-parallelen Blöcken für Präzisionsmessungen eingesetzt (Größenbereich der Blöcke: von 0,5 mm bis 100 mm). Die Messung erfolgt gemäß der Norm ISO 3650. Zu den sekundären Anwendungsbereichen kann jedoch beispielsweise die Messung der Dicke von optischen Elementen (z. B. Linsen), dünnen Folien sowie Silizium-Wafern gehören.
