Přístroje pro analýzu povrchů a tenkých vrstev, včetně optických profiloměrů a drsnoměrů, laserových fizeau interferomentrů a optických litografů od výrobců Zygo, Quantum Design Europe, SIOS Meßtechnik GmbH, J. A. Woollam a KLA Instruments.
Ing. Richard Schuster
Odborný poradce