Im März dieses Jahres haben wir an der Technischen Universität für Chemie und Technologie in Prag die erste Installation des leistungsstärksten Excimer-Lasers in Mitteleuropa durchgeführt. Der Excimer-Laser Coherent LEAP erreicht eine Pulsenergie von1 J bei 100 Hz undeiner Wellenlänge von 248 nm mit einer Energiestabilität von < 1 %. Das System umfasst außerdem eine Strahlabschwächung und die Führung des Strahls auf den optischen Arbeitstisch. 

Der Kunde wünschte sich eine Excimer-Laser-Anlage zur Modifizierung von Polymeren und Halbleitern, zur Laserablation, zur Erzeugung periodischer Strukturen auf Oberflächen zur Steigerung der Biokompatibilität sowie zur Erzeugung von Strukturen auf Halbleiteroberflächen usw. Der Auftraggeber legte zudem Wert auf die Möglichkeit, die Ausgangsenergie des Pulses im Bereich von 1–100 % zu dämpfen, d. h. die Möglichkeit zu haben, entweder 1 J oder auch 10 mJ auf die Probe aufzubringen, was bei einem derart leistungsstarken Excimer-Lasermodell keine übliche Funktion ist.

Auf diese Vorgabe haben wir mit dem Einsatz eines primär industriell genutzten, leistungsstarken Coherent LEAP-Excimerlasers mit einem doppelten Dämpfungsglied reagiert, um die Ausgangsleistung und die Energie des Pulses regulieren zu können. Der Ausgangsstrahl wird über ein abgedecktes Periskop vom Laser über Spiegel mit hochreflektierender Beschichtung auf den optischen Arbeitstisch zur Probe geleitet. Die größte Herausforderung im Rahmen des Projekts war letztendlich der Transport des Lasers, der allein fast 900 kg wiegt und eine Grundfläche von 2 x 1 Meter hat; zudem musste er in ein Obergeschoss gebracht werden.

Parameter