Der amerikanische Hersteller J.A. Woollam Co. hateine brandneueInnovation im Bereich der spektroskopischen Ellipsometer vorgestellt, die speziell für die schnelle Kartierung dünner Schichten entwickelt wurde. Das neue Ellipsometer Theta-SEnutzt für die Erfassung ellipsometrischer Daten die neueste Dual-Rotation-Technologie und setzt für die Kartierung einen einzigartigen, patentiertenDual-Theta-Tischein.
Dieses einzigartige Design ermöglicht eine sehr kompakte Bauweise des gesamten Geräts, in dem unter anderem Fokussieraufsätze, eine Vorrichtung zur vollautomatischen und extrem schnellen Probenausrichtung (motorisierte Z-, Tip- und Tilt-Achsen; Kamera, automatische Bild- und Neigungserkennung) sowie einen CCD- Detektor zur schnellen Erfassung des gesamten Spektrums auf einmal.
DieDual-Rotation-Technologie ermöglicht hochpräzise ellipsometrische Messungen über ein breites Spektrum hinweg mit der Möglichkeit zur Charakterisierung von Proben auf Basis der SE-, g-SE- und MM-SE-Verfahren.
Das gesamte Konzept dieses neuen Ellipsometers ist für eine schnelle und präzise Kartierung mit Fokus auf die Probenoberfläche optimiert; der innovative Ansatz zur Probenpositionierung, bei dem zwei Drehtische für die Translation des Wafers kombiniert werden, ist ein deutliches Beispiel dafür. Sie müssen nun nicht mehr stundenlang auf die präzise Kartierung selbst großer optischer Oberflächen warten. Das Tüpfelchen auf dem i ist der günstige Preis des Geräts einschließlich der fortschrittlichen Analysesoftware CompleteEASE.
