Vibrationsgedämpfte optische Tische bieten eine ebene, steife und stabile Oberfläche für die Montage optischer Komponenten. Ist der optische Strahlengang ungewöhnlich lang, muss durch die Verbindung mehrerer Tische eine entsprechend große vibrationsgedämpfte Fläche geschaffen werden. Die maximale Größe eines einzelnen Tisches ist in der Regel durch die Abmessungen begrenzt, in denen die obere (untere) Stahlplatte der Tischplatte hergestellt werden kann, nämlich 4800 x 1500 mm. In Fällen, in denen eine größere Arbeitsfläche benötigt wird, kommt die Technologie zum Verbinden von optischen Tischen zum Einsatz. Nicht alle Hersteller konstruieren verbundene Tische auf die gleiche Weise, was sich auf die resultierenden Parameter der Tische auswirkt. In diesem Anwendungsbericht konzentrieren wir uns darauf, wie man optische Tische für Anwendungen auswählt, die eine große Fläche zur Isolierung unerwünschter Schwingungen erfordern.

An den Stellen, an denen sich die Tische berühren, befindet sich naturgemäß eine Verbindungsstelle. Diese Verbindung muss präzise gefertigt sein, um eine feste und homogene Oberfläche über die gesamte Fläche der verbundenen Tische zu gewährleisten. Welche wesentlichen Eigenschaften sollten Sie also bei der Auswahl von optischen Tischen berücksichtigen?

Starke, verschweißte Stahlbleche, die die gesamte Seitenfläche des Tisches von der oberen bis zur unteren Platte bedecken. Die Verbindungsbleche benachbarter Tische werden anschließend so verschraubt, dass eine feste Verbindung entsteht.

Bei alternativen Tischkonstruktionen werden die Platten zur Verbindung einfach mit Verbindungselementen verschraubt. Auf diese Weise lässt sich jedoch keine perfekte Verbindung erzielen, und es entsteht ein Spalt zwischen den Tischen, der die Festigkeit der Verbindung erheblich verringert. Im Raum zwischen den Wabenkernen der Tische entsteht nämlich keine Verstärkung.

TMC verwendet zwei 19 mm dicke Stahlplatten, die die gesamte Seitenwand des Tisches abdecken. Diese Platten werden an die Ober- und Unterplatte des Tisches angeschweißt und anschließend mit einer 25,4-mm-Verbindungsmutter miteinander verbunden. Dadurch sind die Platten sogar fester als der Wabenkern des Tisches und bieten somit unübertroffene Festigkeit und Stabilität.

Die Verbindungsplatten überbrücken den Spalt zwischen den Tischkanten und gewährleisten die Integrität der Kerne über die gesamte Länge der verbundenen optischen Tische. Die einzigartige Konstruktion der Verbindungsplatten verhindert zudem das Entstehen von Luftspalten zwischen den Verbindungsstellen, wodurch ein Höchstmaß an Festigkeit und Tragfähigkeit der Verbindung erreicht wird.

Andere Konstruktionsweisen verbinden sehr oft nur die obere und untere Schicht der Tische und lassen deren Mitte vollständig aus. Dadurch wird keine perfekte Integrität erreicht, und unter Belastung kann es schnell zu einer Verwindung der oberen Platte und einer Beeinträchtigung der Ebenheit der Oberfläche kommen.

Um eine maximale Oberflächenfestigkeit zu gewährleisten, sind die Verbindungsplatten der optischen Tische von TMC sowohl mit der oberen als auch mit der unteren Platte verschweißt. Die so verbundenen Platten erreichen eine Gesamtdicke von 38 mm.

Samčí deska nalevo, samičí napravo

Der Transport bereits verbundener optischer Tische ist in praktischer und finanzieller Hinsicht oft äußerst aufwendig. Daher werden einzelne optische Tische in der Regel separat transportiert. Die Verbindungen müssen daher nicht nur sehr stabil, sondern auch leicht lösbar sein.

Wenn die Platten mit einer Mutter mit einem Durchmesser von 25,4 mm verbunden werden, entsteht ein Kontakt von der Oberseite bis zum untersten Teil des Tisches. Die so entstandene Fläche kann große Abmessungen erreichen (Länge bis zu 18 m) und aus vielen Abschnitten bestehen. Um die Ebenheit der Oberfläche über die gesamte Fläche hinweg zu gewährleisten, sind ein hohes Maß an Festigkeit und Stabilität erforderlich.

Abgeschrägte Stahlverbindungsstifte (vier Stifte pro Verbindung, zwei auf jeder Seite) passen präzise in die Bohrung der Stahlplatte des benachbarten Tisches und gewährleisten so eine perfekte Verbindung der Tische.

Sobald die Verbindungsstifte an ihrem Platz sind, werden die Verbindungsmuttern angebracht, die die Verbindung abdichten. Das Ergebnis ist eine koaxiale, feste Verbindung zwischen allen optischen Tischen.

Fazit

Nicht alle optischen Tische sind auf die gleiche Weise konstruiert. Achten Sie daher bei der Auswahl eines optischen Tisches besonders darauf, wie die Tische miteinander verbunden werden. Umfangreichere und komplexere Projekte belasten die Verbindungen stärker. Daher ist es wichtig, dass die miteinander verbundenen Tische eine feste, stabile und ebene Fläche bieten, um unerwünschte Schwingungen zu dämpfen.

Sie können Ihr Exemplar des Anwendungsberichts von TMC hier herunterladen.

Wie wählt man eine Isolationsplattform/ein Isolationsgestell für die Halbleiterindustrie aus?