Optisches 3D-Profilometer auf Basis von WLI/CSI eines führenden amerikanischen Herstellers Zygo Inc. (Ametek).
Es handelt sich um ein System aus einem Weißlicht-Interferometer-3D-Mikroskop mit der Möglichkeit der Messung mittels Phasenverschiebungsinterferometrie (Phase Shifting Interferometry), um eine Wiederholgenauigkeit im Sub-Angström-Bereich für jedes beliebige Sichtfeld zu erreichen (die Auflösung in der Z-Achse ist unabhängig vom Vergrößerungsfaktor des Objektivs).
Das System dient zur Vermessung praktisch beliebiger Oberflächen; die Bedienung des Geräts ist äußerst einfach und ermöglicht eine vollständige Vermessung per Knopfdruck.
Die Auswertung kann anhand von 3D-Daten oder beliebigen 2D-Schnitten (kreisförmige oder lineare Schnitte) erfolgen. Selbstverständlich besteht die Möglichkeit, die gemessene Oberfläche in ein 3D-Modell zu exportieren.
Das gelieferte System enthält eine integrierte Schwingungsdämpfungsplatte und erreicht dank optimierter Messmodi eine extrem hohe Wiederholgenauigkeit und Messgenauigkeit unter den anspruchsvollsten Bedingungen – und zwar direkt in der Produktionshalle an der Werkzeugmaschine.
Geräteparameter
- Probenpositionierung: motorisierter 5-Achsen-Tisch XYZRP
- Möglichkeit zum Zusammenfügen von Sichtfeldern: JA
- Wiederholgenauigkeit der Oberflächentopografie: < 0,08 nm
- Software: Hochwertige Mx™-Software, maßgeschneidert für die Anforderungen der Oberflächenmessung und -analyse
