Im Herbst 2016 haben wirein optisches Interferenzprofilometer der SerieNewView NV8300 für die präzise 3D-Messung der Oberflächenstruktur und -form geliefert. Hersteller des Systems ist Zygo. Das System wird zur Bewertung der Oberflächen von Bauteilen unter definierten Belastungsbedingungen eingesetzt, wobei der entstandene Verschleiß sowohl in 2D als auch in 3D (Profil, Form, Volumen einschließlich der zugehörigen Parameter) ausgewertet wird.
Das Gerät NV8300arbeitet nach dem Prinzipder Weißlichtinterferenz auf der Probenoberfläche (Coherent Scanning Interferometry bzw. Phase Shifting Interferometry) und ermöglicht so die berührungslose Messung der genauen Struktur, Form oder Rauheit der Oberfläche mit einer Genauigkeit und Wiederholbarkeit im Nanometerbereich. Es können sowohl Mikrobereiche als auch Makroflächen in Größenordnungen von Einheiten bis zu Hunderten von Millimetern gemessen werden, wobei ein motorisierter Tisch und die Bildzusammenstellung aus einzelnen Messungen zum Einsatz kommen.
Parameter:
- Vertikaler Scanbereich: 150 µm im Präzisionsmodus mit Piezoscanner, 20 mm im erweiterten Modus
- Wiederholgenauigkeit der Messung: 0,01 nm
- Optische laterale Auflösung: 340 nm (100-fach-Objektiv)
- Laterale Abtastauflösung: 40 nm (100-fach-Objektiv, 2-fach-Zoom)
- Verfügbare Objektive: 1-fach, 2-fach, 2,75-fach, 5,5-fach, 10-fach, 20-fach, 50-fach, 100-fach (Standard, LWD, SLWD) Zoomoptik: 0,5-fach, 0,75-fach, 1,0-fach, 1,5-fach, 2,0-fach
- Mit dem Gerät lassen sich transparente und undurchsichtige Materialien, beschichtete und unbeschichtete Proben sowie glatte, raue und polierte Proben mit einem Reflexionsgrad von 0,05 % bis 100 % messen.
