Kompakte, piezoangetriebene Linear- und Scanachsen für die Nanopositionierung mit einer Genauigkeit im Subnanometerbereich, einem Verfahrbereich in der Größenordnung von einigen hundert Mikrometern und einer hochpräzisen Führung mit minimalen Übersprechen. All dies bieten die Piezoachsen der Serie Flexure.
Die Bewegung Flexure-Piezoelement basiert auf der elastischen Verformung einer Führung aus festem Material mittels eines Piezoelements. Dadurch werden statische, Roll- und Gleitreibung eliminiert.
Das Ergebnis sind hohe Steifigkeit, Tragfähigkeit und Verschleißfestigkeit. Flexure-Achsen sind wartungsfrei, können aus nichtmagnetischen Materialien hergestellt werden, benötigen keine Schmiermittel oder andere Additive und können daher problemlos auch im Vakuum eingesetzt werden.
Typische Parameter
- Positionierung in den Achsen X, Y, Z und deren Kombinationen
- Auflösung 0,05 – 0,2 nm
- Verfahrbereich 60 bis 2000 µm
- Tragkraft bis zu 10 kg
- Möglichkeit schneller dynamischer Bewegungen (Schwingungen)
- Varianten mit und ohne Encoder (Positionsmessung)
- Vakuumtaugliche Version
