Das spektroskopische Ellipsometer M-2000 vom weltweit führenden Hersteller spektroskopischer Ellipsometer J.A.Woollam
Co.
Es handelt sich um ein Ellipsometer-System mit einem motorisierten Goniometer für Winkelmessungen und motorisierten Verschiebungen für das Mapping
der Probe. Dank der Kombination aus einem schnellen CCD-Detektor und der patentierten RCE-Technologie (Ellipsometrie mit rotierendem Kompensator)
ermöglicht das M-2000 die Messung von ellipsometrischen Daten über den gesamten Spektralbereich (hier 245–1690 nm) mit extremer Empfindlichkeit in
Bruchteilen einer Sekunde.
Das angebotene System ist vielseitig einsetzbar und eignet sich ideal zur Untersuchung der optischen Eigenschaften von Dünnschichten und
Mehrfachschichten, ihrer Homogenität, zur Erforschung von Nanostrukturen, zur Erkennung von Oberflächenphasenübergängen sowie zur Messung der Konzentrationen
freier Ladungsträger. Es bietet die Möglichkeit zur Untersuchung der Bandstruktur (einschließlich kritischer Punkte), zur
zerstörungsfreie Untersuchung des Brechungsindexprofils in ultradünnen Schichten, ermöglicht die Messung schneller Prozesse (beispielsweise
der Abscheidung von Schichten) und vieles mehr...
Die hochmoderne CompleteEase-Software erleichtert die Arbeit mit ellipsometrischen Daten erheblich, bietet die breiteste Palette an analytischen
Modellen und eine Bibliothek mit optischen Eigenschaften einer großen Auswahl an Materialien.
Geräteparameter
- Spektralbereich: 245 – 1690 nm
- Winkelbereich: 45° – 90°
- Anzahl der messbaren MM-Elemente: 12
- Messzeit für das gesamte Spektrum: < 0,1 s
- Motorisierte Verschiebungen: JA (Bereich 100 mm x 100 mm)
- Proben-Mapping: JA
- Mikrofokussieraufsätze: JA (2 Stück)
- Kamera zur Probenansicht: JA
