Spektroskopisches Ellipsometer RC2

Name: Spektroskopisches Ellipsometer RC2
Brand: J.A. Woollam Co.

Das spektroskopische Ellipsometer RC2 von J.A. Woollam mit der neuen Dual-RCE-Technologie (Rotating Compensator Ellipsometry) ermöglicht schnelle und hochpräzise Messungen einer breiten Palette von Materialien, wie z. B. organische Materialien, Dielektrika, Halbleiter und Metalle. Es handelt sich um ein modulares System in der PCSCA-Konfiguration (Polarizer-Compensator-Sample-Compensator-Analyzer). Dank der Dual-RCE-Technologie misst das RC2 kontinuierlich (ohne Einzelpunkte) und mit hoher Empfindlichkeit über den gesamten Bereich der ellipsometrischen Werte.

Es wird zur Charakterisierung dünner Schichten und zur Bestimmung der optischen Eigenschaften von Materialien wie beispielsweise des komplexen Brechungsindex und des Absorptionskoeffizienten verwendet.

Ein breiter Spektralbereich mit variablem Messwinkel ermöglicht die Charakterisierung auch mehrschichtiger Strukturen.

Hauptmerkmale

Das genaueste CCD-basierte Ellipsometer
Messung der vollständigen Mueller-Matrix
Modulares Design
Flexible Systemintegration
Dual-RCE Technologie mit zwei rotierenden Kompensatoren
Breitester Spektralbereich bei simultaner Erfassung des gesamten Spektrums
Messmöglichkeit in in situ sowie in ex situ-Konfiguration

Die Ellipsometer der RC2-Serie sind mit einem vollautomatischen Datenerfassungssystem und einem motorisierten Arbeitstisch ausgestattet, der die Kartierung der Probe und die Charakterisierung von Schichten (Homogenität, Rauheit, Phasenübergänge, …) ermöglicht.

Fachberater

Ing. Richard Schuster

+420 601 123 593

schuster@optixs.cz

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Parameter

Design	Dual RCE (PCSCA)
Einfallswinkel	45°–90° (automatische Winkelbasis) 20°–90° (vertikale automatische Winkelbasis) 65° (Mikrofokus-Basis, fester Winkel / Testbasis)
Detektor	CCD
Datenerfassungsgeschwindigkeit (Gesamtspektrum)	0,3 Sekunden für das gesamte Spektrum
Spektralbereich	max.: 193–2500 nm (gesamtes Spektrum auf einmal)

Das RC2 ist das erste spektroskopische Ellipsometer, mit dem alle 16 Elemente der Mueller-Matrix über das gesamte Spektrum gemessen werden können, wodurch sich auch die anspruchsvollsten Proben und Nanostrukturen charakterisieren lassen. So lassen sich beispielsweise Schichten charakterisieren, die depolarisierend und anisotrop zugleich sind.
So können wir beispielsweise Mehrschichtstrukturen mit Flüssigkristallen, Schichten aus geordneten plasmonischen Nanopartikeln und vieles mehr messen.
Das patentierte Design mit achromatischen rotierenden Kompensatoren ist die optimale Lösung für breite spektrale Messbereiche sowie langfristige Stabilität, Zuverlässigkeit und Lebensdauer des Geräts.
Das modulare Design ermöglicht variable Messkonfigurationen, ganz gleich, ob Sie eine große Fläche der Probe mit einem fokussierten Strahl für hohe räumliche Auflösung abbilden müssen oder das Wachstum von Schichten in situ messen möchten, oder ob Sie sich für Messungen in einer Durchflusszelle oder einfach nur für gewöhnliche Punktmessungen interessieren – für all das bietet ein einziges Gerät die Lösung: das RC2.

Dank der Kombination aus langjähriger Erfahrung und innovativen Lösungen präsentiert J.A.Woollam ein Gerät mit unübertroffenen Möglichkeiten für schnelle und präzise spektroskopische Ellipsometrie – sowohl im Standardmodus (SE) sowie der verallgemeinerten (g-SE) und der vollständigen Mueller-Matrix (MM-SE).