STACIS® 4 ist das fortschrittlichste System zur aktiven Schwingungsisolierung, das derzeit auf dem Markt erhältlich ist. Das STACIS-System nutzt Trägheits-Schwingungssensoren, ausgefeilte Steuerungsalgorithmen und modernste piezoelektrische Aktuatoren, die Schwingungen in Echtzeit unterdrücken, indem sie die Bodenaktivität kontinuierlich messen und anschließend die piezoelektrischen Aktuatoren ausdehnen und zusammenziehen, um die Bodenbewegung auszugleichen. Das brandneue STACIS 4 baut auf dem Erfolg unserer bewährten STACIS-Technologie auf, die von 9 der 10 größten Halbleiterhersteller weltweit eingesetzt wird.
Wichtigste Merkmale
- Das STACIS-System ist hundertmal steifer als Luftisolatoren und unterliegt keiner der Einschränkungen von luftbasierten Schwingungsdämpfungssystemen.
- Aktiver Frequenzbereich von 0,2 Hz bis 150 Hz und unübertroffene aktive Isolierung mit einer Schwingungsreduzierung von bis zu 99,9 % bei 2 Hz.
- Die robuste Serienkonstruktion ermöglicht eine einmalige Einstellung, im Gegensatz zu parallelen Konstruktionen der Konkurrenz, die von Natur aus instabil sind und häufige Nachjustierungen erfordern, um Spitzenleistung aufrechtzuerhalten.
- STACIS 4 ermöglicht zweistufige Schwingungsdämpfungssysteme, die passive oder aktive parallele Plattformen über dem STACIS-System umfassen.
- Die Leistung des STACIS 4-Systems entspricht einer Reduzierung der Schwingungsbelastung um bis zu 5 VC-Kurven auf einem stabilen Untergrund.
