Verifire Asphere+ (VFA+) von Zygo setzt neue Maßstäbe für undautomatisierte berührungslose 3D-Messtechnik für Oberflächen und Prozesssteuerung für sphärische, asphärische sowie Freiform-Optik.
Asphärische Optik bietet erhebliche Vorteile bei der Entwicklung und Realisierung von Bildgebungs-, Sensor- und Lasersystemen, die in Branchen wie Verteidigung und Luftfahrt, bei Halbleiter-Belichtungs- und Prüfsystemen sowie bei medizinischen Bildgebungssystemen zum Einsatz kommen.
Die Herstellung asphärischer optischer Komponenten, die diese Anwendungen unterstützen, ist auf präzise Messtechnik angewiesen. Denn bei asphärischer Optik gilt: Was nicht gemessen werden kann, kann auch nicht hergestellt werden. Verifire Asphere+ nutzt die Vorteile der Fizeau-Interferometrie und bietet eine einzigartige Kombination aus präziser, schneller und vollaperturiger Messtechnik – nicht nur für achsensymmetrische Asphären, sondern auch mit hoher Auflösung.
Das VFA+ bietet eine flexible Messplattform für die Messung einer ganzen Reihe von achsensymmetrischen Asphären, wobei lediglich die Transmissionssphäre (das Objektiv) gewechselt werden muss. Darüber hinaus ist das VFA+ mit einem optionalen Sekundärtisch ausgestattet, der die Verwendung eines computergenerierten Hologramms (CGH) und erweitert so die Möglichkeiten der Formmessung auch auf außeraxiale asphärische und asymmetrische Free-Form-Optiken.
Wichtigste Merkmale
- Industrieerprobte Technologie auf Basis von Zygo Verifire HD
- Präzise, berührungslose Oberflächenmesstechnik ohne Notwendigkeit einer Vorbereitung des Messobjekts
- Hohe Messgeschwindigkeit
- Wiederholgenauigkeit im Nanometerbereich
- Autonomes Messen
- Messtechnik für sphärische, asphärische und Free-Form-Oberflächen
- Präzise Bestimmung des RoC dank automatischer 5-Achsen-Positionierung mit interferometrischer Vermessung
- Integriertes System zur Schwingungsisolierung
- Umfassende Software zur Visualisierung und Datenanalyse Zygo Mx
- Möglichkeit der Nutzung von CGH zur Erzeugung praktisch beliebiger Wellenfronten
- Geeignet für Glas, Kunststoffe, Kristalle, Halbleiter, Keramik und Metalle
