Komplexes vereinfachen – mehrere Oberflächen erzeugen komplexe Interferenzstreifenmuster. Verifire™ MST nutzt eine patentierte Technologie zur Wellenlängenverschiebung, um Phasendaten von mehreren Oberflächen gleichzeitig zu erfassen. Dadurch ermöglicht es die Erfassung wichtiger Messgrößen von den einzelnen Oberflächen paralleler Glasplatten, der übertragenen Wellenfront sowie präziser Informationen zu den einzelnen Oberflächen, wie z. B. die Gesamtdickenabweichung (TTV), die Keilform und sogar die Materialinhomogenität.
Verifire™ MST ist für anspruchsvolle Anwendungen wie Displaygläser für mobile Geräte, Datenspeicherplatten und Halbleiterwafer konzipiert und bietet präzise Oberflächenmesstechnik sowie die Erfassung von Dickenabweichungen bei Testteilen mit einer Dicke von bis zu 0,5 mm.
Hauptmerkmale
- Gleichzeitige Charakterisierung der Oberfläche und der Wellenform
- Präzise relative Messtechnik für mehrere Oberflächenparameter wie TTV und Keilform
- Patentierte Zygo-Technologie auf Basis der Wellenlängenverschiebungsinterferometrie
- Breites Wellenlängenangebot für verschiedene Materialien (633 nm bis 1,55 µm)
- Breites Spektrum an lateraler Auflösung für optimale ITF (1,2k × 1,2k bis 3,4k × 3,4k)
- Präzise, berührungslose und schnelle Messtechnik für parallele Oberflächen
- Wiederholgenauigkeit der Messungen im Nanometerbereich
- Die einzigartige QPSI™-Technologie ermöglicht zuverlässige Messungen in vibrationsanfälligen Umgebungen
- Umfassende Software zur Visualisierung und Datenanalyse Zygo Mx
- Geeignet für Glas, Kunststoffe, Kristalle und Halbleiter
- Patentierte Quelle zur Reduzierung von Artefakten Ring of Fire™
