Verifire™ VTS von Zygo ist eine vertikale Prüfstation für die Bestückung mit Laserinterferometern Verifire™ und DynaFiz™.
Es handelt sich um eine eigenständige interferometrische Arbeitsstation vom Typ UWL (upward-looking) für die stabile und robuste Messung von Form und Krümmungsradius (ROC). Neben der Messung von sphärischer Optik eignet sie sich auch für die Messung von asphärischer und Freiform-Optik dank des holografischen Ansatzes (CGH) mit optimierten Werkzeugen für eine einfache und wiederholbare Ausrichtung CGH.
Das vollständig integrierte System bietet eine motorisierte Z-Achse mit einem kodierten Verfahrweg von 1 Meter, was die Positionierung der zu prüfenden Optik erleichtert und gleichzeitig vollautomatische ROC-Messungen ermöglicht. Die kompakte Grundfläche benötigt nur das absolut notwendige Minimum an Platz im Messlabor.
Vibrationsfestigkeit
Verifire™ VTS bietet ein rigoroses mechanisches Design mit einem integrierten Schwingungsisolationssystem für eine stabile Messtechnik, die vertrauenswürdige und zuverlässige Messungen gewährleistet. Dieses robuste Design ergänzt sich hervorragend mit dem patentierten Erfassungsmodus QPSI™, der standardmäßig in allen Zygo-Interferometern enthalten ist. So lässt sich präzise Messtechnik auch direkt in Produktionsumgebungen realisieren, in denen Vibrationen typischerweise auftreten.
Kompatibilität
Das Verifire™ VTS kann mit Standard-Interferometern Verifire™ 4" sowie mit Interferometern höherer Baureihen mit einer Apertur von 4" oder 6", insbesondere mit den Modellen Verifire HD™, Verifire HDX™ und Dynafiz™. Alle oben genannten Interferometer ermöglichen Messungen auch im QPSI™-Modus. Diese Konfiguration ermöglicht dann eine echte axiale Messtechnik ohne Datenverschlechterung, wie sie bei anderen Messsystemen in vibrationsbehafteten Umgebungen typisch ist.
Selbstverständlich ist die Kompatibilität mit dem Standardzubehör für Zygo-Interferometer.
Mx™-Software
Die Mess- und Analysesoftware Mx™ von Zygo bietet eine breite Funktionsspektrum sowie flexible Konfigurationsmöglichkeiten. Dies ermöglicht sowohl die Anpassung an spezifische Anwenderanwendungen mit einfacher Bedienung (One-Button-System) als auch die Entwicklung von High-End-Anwendungen in F&E-Labors. Neue Funktionen wie SmartAveraging®, Custom Workspace und die integrierte Skriptsprache (Python™) vereinfachen die volle Nutzung des Systems noch weiter und erweitern die Funktionalität des Interferometers entsprechend den Anforderungen der jeweiligen Anwendung erheblich.
