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AFSEM für die korrelative Mikroskopie

AFSEM™ von GETec ermöglicht die Erweiterung der Möglichkeiten Ihres Rasterelektronenmikroskops (SEM) um die einzigartigen Eigenschaften der Rasterkraftmikroskopie (AFM) mit der Möglichkeit einer korrelativen Datenanalyse.

AFSEM™ ist mit den meisten auf dem Markt erhältlichen SEM- und FIB/SEM-Systemen kompatibel und kann somit ganz einfach die Fähigkeiten auch Ihres Systems um die Rasterkraftmikroskopie erweitern. Dank des einzigartigen Designs kommt es zu keiner unerwünschten Störungen anderer Messverfahren des Systems (z. B. FIB, FEBID, EDX); im Gegenteil, das System mit dieser Erweiterung ist unter anderem in der Lage, Informationen über die 3D-Struktur der Probe zu gewinnen.

Eigenschaften

  • Abmessungen des AFSEM™-Scanners: 41 x 110 x 77 mm³ (HxBxT)
  • Gewicht des AFSEM™-Scanners: 500 g
  • Scanbereich : 35 x 35 µm² für x, y (geschlossener Regelkreis); 5 µm für die z-Achse
  • Vakuumkompatibilität: bis zu 10-7 mbar
  • Verschiedene Messmodi
Richard Schuster
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Ing. Richard Schuster

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Parameter

AFSEM, das in erster Linie für die Integration in ein SEM vorgesehen ist, bietet eine breite Palette an Messmodi, wie sie für die Rasterkraftmikroskopie (AFM) typisch sind. Damit lässt sich ein bestehendes SEM-Mikroskop nicht nur einfach um die Funktionen eines AFM-Mikroskops erweitern, sondern vor allem um die korrelative Analyse der mit beiden Methoden gleichzeitig gewonnenen Daten. So stehen beispielsweise statische und dynamische 3D-Bildgebung, Phasenkontrastmessung, Kraftmodulationsmessung, Leitfähigkeitskartierung usw. zur Verfügung. Selbstverständlich sind Messungen sowohl im Kontakt- als auch im AC-Modus möglich.

AFSEM 1.0 AFSEM nano
Sensorabmessungen [mm] 110 x 77 x 41 70 x 58 x 30
Scanbereich [µm] 34 x 34 (Closed-Loop) 25 x 25 (Closed-Loop)
Rauschen des XY-Scanners < 0,3 nm (RMS) < 0,3 nm (RMS)
Scanbereich in Z [µm] 5 15
Rauschen des Z-Scanners ~80 pm ~80 pm
XYZ-Verfahrbereich [mm] 8 x 12 x 24 12 x 12 x 12
Minimale Schrittweite der XYZ-Verschiebungen [nm] 50 30
Gewicht des Sensors [g] 500 70
Vakuumkompatibilität [mbar] 10-6 10-7

Dokumente

AFSEM-Broschüre

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Anwendung

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Als Nanostrukturen (Quantenpunkte, Nanokristalle, Nanofasern, Nanomembranen, Nanoröhren, …) werden Objekte bezeichnet, d..

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