Das ZYGO DynaFiz-Laserinterferometer ist anderen Fazeau-Interferometern von ZYGO überlegen, da es Vibrationen aus der Umgebung standhält, wo die klassische Phasenverschiebungsinterferometrie (PSI) oder die weiterentwickelte QPSI bereits versagen.
LivePhase™
Die dynamische Messtechnik mit der einzigartigen Möglichkeit der Live-Aufzeichnung und -Darstellung des Interferenzmusters bietet zahlreiche praktische Vorteile. LivePhase™ ermöglicht beispielsweise die Echtzeit-Anzeige von Daten mit Rückmeldung zum Grad der optischen Aberration, der unter Verwendung von Zernike-Polynomen berechnet wird. Diese Technik ist ein effektives Werkzeug zur präzisen Justierung des optischen Systems.
Wichtigste Merkmale
- Extreme Unempfindlichkeit der Messung gegenüber mechanischen Schwingungen und Luftschwingungen der Umgebung
- Stabilisierter He-Ne-Laser (633 nm) mit einer Kohärenzlänge der Strahlung von bis zu 100 m
- Interferenzmuster, aufgenommen mit einer integrierten Kamera mit einer Auflösung von 1400 × 1400 oder 600 × 600 Pixeln und einer Bildfrequenz von 50 oder 82 Hz
- Dynamische Messungen ermöglichen Beobachtungen in Echtzeit
- Eine neuartige, verbesserte Interferometrie-Technik mit Phasenverschiebung QPSI (Quick Phase-Shifting Interferometry) als Standardausstattung der Interferometer von Zygo DynaFiz®
- Umfassende Software MetroPro MX zur statistischen Datenauswertung und Visualisierung
- Messungen in horizontaler und vertikaler Anordnung
- Möglichkeit der Fernsteuerung des Interferometers für mehr Komfort.
