Im August 2021 haben wir für das Institut für Analytische Chemie der Tschechischen Akademie der Wissenschaften den Microwriter ML3 Pro des britischen
Herstellers Durham Magneto Optics Ltd (DMO) installiert. Eine der Hauptanwendungen ist die Herstellung
von Strukturen für die Mikrofluidik.
Es handelt sich um ein System mit wählbarer Auflösung im Bereich von 0,6 µm bis 5
µm, mit einem hoch präzisen Positioniersystem
.
Die Belichtungsquelle mit einer Wellenlänge von 365 nm und hoher optischer Leistung ist optimal für i-Line-Fotolacke geeignet, ermöglicht aber auch
das Belichten herkömmlicher g-Line- und h-Line-Fotolacke.
Die Temperaturstabilisierung gewährleistet maximale Stabilität auch bei längeren Belichtungsvorgängen (typischerweise bei Kombinationen aus hoher
Auflösung und großer Fläche oder bei Tiefenbelichtung auf großer Fläche – typisch für die Mikrofluidik).
Die Funktion des integrierten Profilometers ermöglicht unter anderem die Überprüfung der Belichtung nach der Entwicklung der Struktur.
Die Funktion „Virtual Mask Aligner“ (VMA) zur präzisen Ausrichtung der Belichtung auf bestehende Strukturen dient der präzisen und einfachen
Mikroverdrahtung. Der Microwriter ML3 ermöglicht darüber hinaus die Belichtung sowie Graustufenbelichtung.
Geräteparameter
- Wellenlänge der Lichtquelle: 385 nm
- Temperaturstabilisierung: ± 0,25 °C
- Schreibauflösung: 600 nm, 1000 nm, 2000 nm und 5000 nm
- Anzahl der Objektive: 4 (Vergrößerung 3- bis 20-fach
- Weitere Funktionen: VMA, Wide-Field-Viewer, integriertes Profilometer, Autofokus, Fokusverriegelung, virtuelle Rotation,
automatische Probenzentrierung, automatische Kantenerkennung, automatische Markererkennung.
