Laser-Fizeau-Interferometer „Verifire 6” des führenden amerikanischen Herstellers Zygo Inc. (Ametek) mit einem vibrationsgedämpften Tisch von TMC (Ametek). Es handelt sich um ein Präzisions-Laserinterferometer mit Phasenverschiebung (Phase-Shifting-Interferometrie), mit Referenzoptik, deren Oberflächenqualität besser als Lambda/40 (PVr, bei 633 nm) ist, und mit einem optischen Tisch zur Schwingungsisolierung. Das System dient zur Messung von planer und sphärischer Optik sowie zur Messung komplexer optischer Systeme. Es ermöglicht die Messung von Wellenfrontverformungen, optischen Aberrationen höherer Ordnungen und deren Vergleich mit Modelldaten zur anschließenden Optimierung der Fertigung. Zudem ist der Export und Import von Daten für Simulationen (beispielsweise mit der Software Zemax) sowie der Vergleich der Abweichungen zwischen dem Modell des gemessenen Bauteils und den tatsächlich gemessenen Ergebnissen möglich. Selbstverständlich ist der QPSI-Modus, der auch unter turbulenten Bedingungen sehr genaue Messungen ermöglicht, sowie beispielsweise der motorisierte, stufenlos einstellbare optische Zoom von 1x bis 5x. Die mitgelieferte Antivibrations-Tischbaugruppe ist speziell für den ordnungsgemäßen Betrieb in Reinräumen angepasst.
Geräteparameter
- Laserquelle: Stabilisierter HeNe, 632,8 nm, verlängerte Garantie, Hersteller: Zygo
- Durchmesser des Messstrahls: 6” (150 mm)
- Optischer Zoom: stufenlos im Bereich von 1x bis 5x, motorisiert
- Software: Hochwertige Mx™-Software, maßgeschneidert für die Anforderungen der Messung und Analyse optischer Oberflächen mittels optischer Interferometrie
